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测试技术 传感器设计(动态压力) 设计作品名称：电子式水流压力传感器 作品设计人员：王思云(20H0955027)王剑峰 (20110955025) 组员：王世斌(20110955026)余光林 (20110955035) 王泽青(20110955028) 课程名称：测试技术 学院：机械与交通学院 专业：交通运输 设计时间：2013年“月26 EJ-2013年12月1日 电子式水流压力传感器的设计 有关压力传感器简介一一压力传感器是工业实践中最为常 用的一种传感器，而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电 效应制造而成的，这样的传感器也称为压电传感器。 我们知道，晶体是各向异性的，非晶体是各向同性的。某些 晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时，就产生 了极化效应；当机械力撤掉之后，又会重新回到不带电的状态， 也就是受到压力的时候，某些晶体可能产生出电的效应，这就是 所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研制出了压电传感 器。 压电效应是压电传感器的主要工作原理，压电传感器不能用 于静态测量，因为经过外力作用后的电荷，只有在回路具有无限 大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的，所以这决 定了压电传感器只能够测量动态的应力。诸如空气流动压力，液 体流动压力，接下来我们设计的动态压力传感器就是利用水流压 力来测量各种数据的传感器一一水流压力传感器 绪论 1.1背景 1.2应用实例 原理分析 2.1工作原理 实现过程 3.1电路图设计 3.2电路仿真 心得体会 1.1背景 水流压力传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸 钾钠和磷酸二氢胺。其中石英（二氧化硅）是一种天然晶体，压 电效应就是在这种晶体中发现的，在一定的温度范围之内，压电 性质一直存在，但温度超过这个范围之后，压电性质完全消失（这 个高温就是所谓的“居里点”）。由于随着应力的变化电场变化微 小，压电系数比较低，所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。 而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数，但是它只能在 室温和湿度比较低的环境下才能够应用。磷酸二氢胺属于人造晶 体，能够承受高温和相当高的湿度，所以已经得到了广泛的应用。 这种压电电阻效应是由于应力的作用，引起导体与价电子带 能量状态的变化，以及载流子数量与迁移率变化所产生的一种现 象。日本从1970年开始研究开发，首先应用在血压计上，之后 在过程控制领域及轿车发动机控制部分都获得了广泛的应用。最 近几年在家用电器、家用水表、等应用领域普遍采用电子压力传 感器作为压力控制、流量监控的效果。 压力传感器片 用于印制板 安的引脚 压力导入管 图1电子压力传感器模型 1.2应用实例 图2水流压力传感器在全自动洗衣机中的应用 （盯加压时 图3水流压力传感器结构图 图4水流压力传感器在水表中的应用测量流量 图2是水流压力传感器在全自动洗衣机中的应用实例。如 图所示，利用气室，将在不同水位情况下水压的变化，作为空 气压力的变化检测出来，从而可以在设定的水位上自动停止向 洗衣机注水。图3是水流压力传感器在水表当中的应用实例， 利用管道当中的水流压力压迫管壁上的流量传感器，将压力信 号转换成数字信号显示在水表上。 第2章 原理分析 2.1工作原理 图1为PS水流压力传感器的截面结构图，图2为其传感器部 分的结构。如图所示，在压力传感器半导体硅片上有一层扩散电 阻体，如果对这一电阻体施加压力，由于压电电阻效应，其电阻 值将发生变化。受到应变的部分，即膜片由于容易感压而变薄， 为了减缓来自传感器底座应力的影响，将压力传感器片安装在玻 璃基座上。 如图2,图3所示，当向空腔部分加上一定的压力时，膜片 受到一定程度的拉伸或收缩而产生形变。压电电阻的排列方法如 图3所示，受到拉伸的电阻R2和R4的阻值增加；受到压缩的电阻 R1和R3阻值减小。图4由于各压电电阻如图4那样组成桥路结构, 如果将它们连接到恒流源上，则由于压力的增减，将在输出端获 得输出电压△ V,当压力为零时的△ V等于偏置电压Voffset,在理 想状态下我们希望Voffset=0V,实际上在生成扩散电阻体时，由 于所形成的扩散电阻体尺寸大小的不同和存在杂质浓度的微小 差异，因此总是有某个电压值存在。压力为零时， R1=R2=R3=R4=R,我们把加上一定压力时R1、R2电阻的变化 部分记作相应R3、R4电阻的变化部分记作-AR,于是△ V=AR|。这个AV相对压力呈现几乎完全线性的特性，只是随 着温度的变化而有所改变。 第3章 实现过程 3.1电路图设计 图5是PS压水流压力传感器的外围电路设计实例，图中用恒 流源来驱动压力传感器。 图5水流压力传感器设计电路 由于桥路失衡时的输出电压比较小，所以必须用运放IC1b和 IC1C来进行放大。图