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透射电子显微镜 -- TEM
(Transmission Electron Microscope)
1
CONTENTS
⚫ TEM发展概述
⚫ TEM 的结构和成像原理
⚫ 衍射花样分析
2
什么是透射电镜？
透射电镜，即透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope ，
TEM ），是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜对透射电子聚焦
成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。目前世界上最
先进的透射电镜的分辨本领已达到0.1nm,可用来直接观察原子像。
3
一、TEM发展概述
⚫ 1924年，德布罗意计算出电子波的波长。
⚫ 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电
子波聚焦。
⚫ 1932 ～1933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研
制成功世界上第一台TEM 。
• 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领
优于10nm 的商品电子显微镜。
4
TEM发展概述
我国电镜研制起步
较迟，1958年在长春
中国科学院光学精密
机械研究所生产了第
一台中型电镜，到
1977年生产的TEM分辨
率为0.3nm，放大倍率
为80万倍。
5
⚫点分辨率：0.23nm
⚫晶格分辨率：0.14nm
⚫加速電圧：80～200kV
⚫倍率：×50～1,500,000
日本电子公司透射电镜 JEM-2100 （HR）
6
二TEM 的结构和成像原理
透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透
镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。
它由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组
成。
电子光学 照明、成象、观察和 核心
部分 记录
TEM 真 空 部 机械泵、扩散泵、吸附泵、 辅助
分 真空测量、显示仪表
高压电源、透镜电源、真空电源、
电子部
辅助电源、安全系统、总调压变 辅助
分
压器
7
7
A 电子光学成像系统
A 照明系统 照
• 电子枪 明
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