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第10章 气、湿敏传感器 10. 1 气敏传感器 气敏传感器可检测气体(多数为空气)中的特定成分，并将其变换成相应的电信号输出。在应用中，气敏传感器常作为可燃性气体的泄漏警报器，以防止发生爆炸事故。气敏传感器还常作为环境监测的手段，或进行工业过程检测和自动控制。 气敏传感器可分半导体气敏传感器、固体电解质气敏传感器、浓差电池型气敏传感器和组合电位型气敏传感器等多种类型，其中最常见的是半导体气敏传感器。 气敏传感器虽然种类甚多，但对它们都有下述的基本要求。 (1)对被测的气体有高灵敏度; (2)选择性要好，即对和被测气体共存的其他气体不敏感; (3)能够长时期稳定工作; (4)检测或报警要快，即响应速度要快。  10. 1. 1半导体气敏传感器 半导体气敏传感器是利用半导体材料与气体相接触时电阻和功函数会发生变化的效应来检测气体成分或浓度的传感器。 按照半导体与气体的相互作用主要局限于半导体表面，还是涉及到半导体内部，半导体气敏传感器可分为表面控制型和体控制型。按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻式和非电阻式。电阻式半导体气敏传感器是利用其电阻值的改变来反映被测气体的浓度，而非电阻式气敏传感器则利用半导体的其他机理对气体进行直接或间接检测。 10.2湿敏传感器 湿敏传感器是用以感受大气湿度并转换成适当电信号输出的传感器。 湿度有两种常用的表示方法，即绝对湿度和相对湿度。绝对湿度是指一定空间中水蒸气的绝对含量，可用kg/ m3表示。绝对湿度也可称为水汽浓度或水汽密度。 绝对湿度也可用水的蒸气压来表示·设空气的水汽密度为ρv，与之相对应的水蒸气分压为Pv、，则根据理想气体状态方程有如下关系 相对湿度为某一被测蒸气压与相同温度下的饱和蒸气压的比值的百分数，常用“%RH”表示。这是一个无量纲的值。绝对湿度给出了水分在空间的具体含量，相对湿度则给出大气的潮湿程度，故使用更加广泛。 10. 2. 1烧结型半导体陶瓷湿敏传感器 烧结型湿敏半导体陶瓷材料一般是具有多孔结构的多晶体，在其生产过程中应有半导体化过程。半导体陶瓷大多为金属氧化物材料，其半导体化过程一般是通过调整配方、进行掺杂，或者通过控制烧结气氛造成氧元素的过剩或不足而实现的。半导体化的结果是使晶粒中产生大量的载流子(空穴或电子)。这样，一方面使晶粒体内的电阻率降低，另一方面又使晶粒之间的界面处形成界面势垒，使界面处的载流子耗尽而出现耗尽层，这就导致晶体界面的电阻率远大于晶粒体内的电阻率，并成为半导体陶瓷材料在通电时的主要电阻。当水分子在湿敏半导体材料的表面和晶粒界面吸附时，会引起表面和晶粒界面处的电阻率发生变化，显示出湿敏特性。 湿敏半导体陶瓷的湿敏特性，按其电阻随所感受的湿度变化而发生变化的规律，一般可分为负湿敏特性和正湿敏特性两类。前一类的感湿特征是电阻值随被测湿度的增加而减少，目前大多数湿敏半导体陶瓷都属于此类;后一类的情况正好相反。 1.湿敏半导体陶瓷的离子导电机理 2.烧结型半导体陶瓷湿敏传感器 3.湿一气多功能传感器 4.湿一温多功能传感器 10. 2. 2多孔氧化物湿敏传感器 多孔氧化物湿敏传感器大多采用多孔Alz 03和多孔SiOz湿敏器件作为敏感元件。这类湿敏器件通过控制其多孔氧化物膜的厚度(或其他结构参数)，可以制成测量绝对湿度或相对湿度的敏感元件。 10. 2. 2. 1多孔Al2O3,湿敏传感器 10. 2. 2. 2.硅MOS型Al2O3湿敏传感器 10. 2. 3结型和MOS型湿敏传感器 硅结型和硅MOS型湿敏器件由于是全硅固态湿敏器件，有利于器件的集成化和微型化，因此是很有前途和研究价值的湿敏器件。 1.结型湿敏传感器 结型湿敏器件是利用肖特基结或PN结二极管反向电流或反向击穿电压随所感受湿度变化而变化制成的湿敏器件，具有代表性的结型湿敏器件是二氧化锡(SnO2)湿敏二极管。 2.湿敏MOS场效应管 这是一种在MOS场效应管的栅极上涂覆一层感湿薄膜，并在感湿薄膜上另加一金属电极构成的湿敏器件，称湿敏MOS场效应管或称表面阻抗测量器件(Surface Impedance Measurement Device , SIM )。 10. 2. 4其他湿敏传感器 1.氯化锂湿敏传感器 氯化锂是一种典型的离子晶体，属于电解质。另外，还是较好的感湿材料。   2 羟乙基纤维素碳湿敏传感器 羟乙基纤维素碳湿敏器件是以高分子聚合物为湿敏材料制成的器件。它利用羟乙基纤维素吸收水分后体积膨胀的特性制成。在这种体积具有胀缩性的高分子聚合物中，掺人可以导电的微粒或离子，就可将其体积随所感受湿度而引起的变化转换为感湿材料的导电性能的变化。   10. 3 气、湿敏传感器的应用 10.3.1自动排油烟机 1