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;民用蓝宝石领域;蓝宝石制造过程;
长晶: 利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体
定向: 确保蓝宝石晶体在掏棒机台上的正确位置,便于掏棒加工
掏棒: 以特定方式从蓝宝石晶体中掏取出蓝宝石晶棒
滚磨: 用外圆磨床进行晶棒的外圆磨削,得到精确的外圆尺寸精度
品检: 确保晶棒品质以及以及掏取后的晶棒尺寸与方位是否合客户规格
;定向:在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置,以便于精准切片加工
切片:将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片
研磨:去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平坦度
倒角:将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度,避免应力??中造成缺陷
抛光:改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶级的精度
清洗:清除晶片表面的污染物(如:微尘颗粒,金属,有机玷污物等)
品检:以高精密检测仪器检验晶片品质(平坦度,表面微尘颗粒等),以合乎客户要求;蓝宝石长晶方法介绍;为何使用蓝宝石当 LED衬底材料;单晶蓝宝石长晶方法;提拉法(CZ); 坩埚上方有一根可以旋转和升降的提拉杆,杆的下端有一个夹头,其上装有一根籽晶。降低提拉杆,使籽晶插入熔体中,只要熔体的温度适中,籽晶既不熔解,也不长大,然后缓慢向上提拉和转动籽晶杆,同时缓慢降低加热功率,籽晶逐渐长粗。小心地调节加热功率,就能得到所需直径的晶体。整个生长装置安放在一个外罩里,以保证生长环境有所需要的气体和压力。;有关工艺参数控制;炉内保温系统剖面图;提拉法生长晶体的优点;提拉法生长晶体的缺点;坩埚下降法;坩埚下降法示意图;坩埚下降法原理;为了充分利用几何淘汰规律,提高成品率,人们设计了各种各样的坩埚。如左图所示。其目的是让坩埚底部通过温度梯度最大的区域时,在底部形成尽可能少的几个晶核,而这几个晶核再经过几何淘汰,剩下只有取向优异的单核发展成晶体。经验表明,坩埚底部的形状也因晶体类型不同而有所差异。;坩埚下降法的优点;坩埚下降法的缺点;热交换法(HEM);1)先加热熔化坩埚内的原料,使熔 体温度保持略高于熔点5~10℃
2)埚底的晶种部分被熔化,炉温缓慢下降
3)开通He气冷却
4)熔体就被未熔化晶种为核心,逐渐生长出充满整个坩埚的大块单晶;热交换法晶体生长过程;热交换法炉体示意图;热交换法的优点;热交换法的缺点;泡生法(KY);将晶体原料放入耐高温的坩埚中加热熔化 ,调整炉内温度场 ,使熔体上部处于稍高于熔点的状态;使籽晶杆上的籽晶接触熔融液面 ,待其表面稍熔后 ,降低表面温度至熔点 ,提拉并转动籽晶杆 ,使熔体顶部处于过冷状态而结晶于籽晶上 ,在不断提拉的过程中 ,生长出圆柱状晶体; 蓝宝石晶体不同工艺优缺点比较 ;蓝宝石的市场分析;国内LED行业概况;国内蓝宝石厂家;国外主要蓝宝石厂商;国内蓝宝石相关公司概况;国内主要蓝宝石厂信息;国内主要蓝宝石厂信息;国内主要蓝宝石厂信息;国内主要蓝宝石厂信息;市场分析;Thank You !
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