赛默飞表面分析仪器的日常维护.PDFVIP

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赛默飞表面分析仪器的 日常维护 Maintenance of Thermo Fisher Surface Analysis Instrument The world leader in serving science Zhang Zhiqiang 2014/04/25 Hangzhou “流水不腐,户枢不蠹” 不​断​运​动​的​事​物​才​能​避​免​有​害​ 物​质​的​侵​害​,​获​得​永​恒​的​生​命​。 良好的操作习惯 防患于未燃,防病终于治病 2 K-Alpha Escalab Theta Probe Ease of Use Imaging ARXPS Multi-user Multi-technique Ultra thin film Apps High throughput High Performance Unique capabilities 3 •真空系统 •循环水系统 •气路系统 •X射线源 •离子枪 • 中和枪 •系统通讯和Avantage软件 4 1. 制备“干净”的样品 2. 样品在进样室中充分抽气 3. 保持进样室门清洁 4. 定期运行钛升华泵 5 钛丝默认在仪器空闲时每4小时运行一次,三根钛丝轮流运行。 可关闭钛丝的自动运行,在需要时手动运行( E250xi和ThetaProbe ) 6 钛丝默认在仪器空闲时每4小时运行一次,三根钛丝轮流运行。 K-alpha钛丝的自动运行不能关闭,但在需要时手动运行。 7 前级真空: 若使用干泵,级真空较差时,需要更换干泵密封圈。 8 前级真空: 若使用油泵,请检查泵油(液面和清洁程度)是否正常。 9 真空记录文档:C:/AvantageSystem/Ramplogs/Plcs 10 真空记录文档:C:/AvantageSystem/Ramplogs/Plcs 11 • 循环水的作用将系统内部的热量散发出去 • 分子泵 • X-射线源 • 晶体 (K-alpha和Theta Probe等) • 磁透镜(E250xi)

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