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赛默飞表面分析仪器的
日常维护
Maintenance of Thermo Fisher
Surface Analysis Instrument
The world leader in serving science
Zhang Zhiqiang
2014/04/25 Hangzhou
“流水不腐,户枢不蠹”
不断运动的事物才能避免有害
物质的侵害,获得永恒的生命。
良好的操作习惯
防患于未燃,防病终于治病
2
K-Alpha Escalab Theta Probe
Ease of Use Imaging ARXPS
Multi-user Multi-technique Ultra thin film Apps
High throughput High Performance Unique capabilities
3
•真空系统
•循环水系统
•气路系统
•X射线源
•离子枪
• 中和枪
•系统通讯和Avantage软件
4
1. 制备“干净”的样品
2. 样品在进样室中充分抽气
3. 保持进样室门清洁
4. 定期运行钛升华泵
5
钛丝默认在仪器空闲时每4小时运行一次,三根钛丝轮流运行。
可关闭钛丝的自动运行,在需要时手动运行( E250xi和ThetaProbe )
6
钛丝默认在仪器空闲时每4小时运行一次,三根钛丝轮流运行。
K-alpha钛丝的自动运行不能关闭,但在需要时手动运行。
7
前级真空:
若使用干泵,级真空较差时,需要更换干泵密封圈。
8
前级真空:
若使用油泵,请检查泵油(液面和清洁程度)是否正常。
9
真空记录文档:C:/AvantageSystem/Ramplogs/Plcs
10
真空记录文档:C:/AvantageSystem/Ramplogs/Plcs
11
• 循环水的作用将系统内部的热量散发出去
• 分子泵
• X-射线源
• 晶体
(K-alpha和Theta Probe等)
• 磁透镜(E250xi)
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