YG-C型复合真空计说明书.docVIP

ZDF-5227型智能复合真空计使用说明书 PAGE PAGE 1 ZDF-5227型智能复合真空计 使用说明书 山东济宁晨阳真空仪器有限公司 地址：济宁市中区开发区香港路4号 TEL：0537—2319617 2312617 ZDF-5227型复合真空计说明书 工作原理 本复合真空计是有定温式电阻真空计部分和热阴极电离真空计部分组成，其工作原理如下： 电阻真空计是利用热传导现象测量气体的压强，它是有电阻规管、供电系统、测量电路、V/F变换器和单片机所组成。供电系统供电使电阻规热丝温度恒定不变，即使热丝的电阻值恒定，由于气体压强的不同，气体导走的热量损失不同，气体压强越高，导走的热量越多。由于供电系统自动供电补偿使它的热丝温度恒定不变，测试供电电压的变化即得气体的压强。运算放大后经单片机处理以指数的形式显示。 热阴极电离真空计有电离规管、阳极电压、稳发射系统、测量电路、V/F变换以及单片机系统组成。 电离规管的阴极通过电流发热，当温度达到一定值时，便产生电子的发射，电子在向阳极运动过程中与气体分子发生碰撞，使气体电离，电离形成的正离子被收集极吸收，在测量范围内离子流与被测压强成正比，即： I+=K Ie P 式中：I+为离子电流，K为规管灵敏度， Ie为发射电流， P为气体压强。在规管灵敏度和发射电流恒定的条件下根据离子电流可测出气体的压强。反映气体压强的离子流经测量电路，V/F 变换后送单片机处理，以指数的形式显示出来。 二、仪器特点： 1. 本仪器由电阻计和电离计复合而成。测量范围100000pa—1.0×10ˉ5Pa，即可复合使用，亦可单独使用。 2. 电阻计和复合计分别有独立的显示窗，用数字显示。 3. 采用微处理器控制，开机既可自动显示。不必预热，不用调节发射电流，不用手动换档。 4．复合计的启动分为自动和手动，当自动时系统真空度达到1帕时便自动启动电离计。手动时，按“自动”键，然后按 “电离”键，便可启动电离计。 5. 具有完善的ZJ-27规管保护电路，真空系统暴大气，ZJ-27自动关闭灯丝，灯丝不会烧断，可大大延长ZJ-27规管使用寿命，降低成本。 6. 带有四组受系统压强控制的常开/常闭继电器触点，阀值用户设置。（设置方法见4.2） 三.性能指标： 1.本仪器传感器为ZJ-52T电阻规和ZJ-27电离规。 ⒉ 测量范围：电阻计：100000 Pa -0.1Pa 复合计：100000 Pa -1.0×10ˉ5Pa， 3.规管加速极对地电位： 225±3% 规管阴极对地电位： 25V 规管发射电流： 100μA 1mA 除气方式： 焦耳除气 4.自动保护（电离） 大于10Pa 5. 触电负荷： AC220V/1A DC28V/10A 6. 电源： 220V±10% 50HZ 7. 功耗： 40W 除气时100W 8 . 仪器外型尺寸： 480×320×119MM 重量5kg 9. 规管引线：标准长度7m 四、 仪器使用： 1. 开机显示：0.0000 ； 0.0000，5秒后进入工作状态。 阀值设置方式可通过“设置1” “设置2” “设置3” “设置4”。设定控制真空度，设值1，2 控制范围 10000pa-0.1pa，设值3，4 控制范围 10000pa-1×10ˉ5Pa。 具体操作如下： a..按下前面板“设置1” 如：1.0E-1→2.0E-1→3.0E-1→ 9.0E-1 →1.0E0 -- →9.E0 1.E1 --→ 9.E1 → 当显示到所需要的设定值时，松开按钮，设定1的上限设定完成。然后再按设定1按钮，数字在原来的基础上再次增加，直到设定1的下限需要值，松开按钮，设定1的下限设定完成。 设置2的上限、下限同设置1。 b.按下前面板“设置3” 如：1.0E-5→2.0E-5→3.0E-5→ 9.0E-5→1.0E-4--→9.E-4 1.E-3 --→9.E-3→ 当显示到所需要的设定值时，松开按钮，设定3的上限设定完成。然后再按设定3按钮，数字在原来的基础上再次增加，直到设定3的下限需要值，松开按钮，设定3的下限设定完成。 设置4的上限、下限同设置3。 3.本机电离部分具有去气功能，当真空度高于1×10ˉ2Pa时，可对规管进行去气。按动“除气”按钮，规管开始“除气”，并显示时间，“若中止去气，则按电离”按钮，重新进入测量过程。 4.电阻规校正： a.当真空度高于1.0Eˉ1时，调整零点电位器显示1.0Eˉ1时，即为零点调整。 b.真空度在大