离子束-本底等离子体的产生及束上下游鞘层分布的实验研究-等离子体物理专业毕业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 离子束一等离子体系统在等离子体与材料表面相互作用等应用以及等离子体 集体波动和不稳定性的激发和传播蔷基础研究中有广泛应用。柬一等离予体系 统中等离子边界鞘层结构特性就是其中一个典型的基本问题。前人在利用离子 柬一等离予体系统研究波动激发或鞘层结构等问题时，对离予柬的能量以及束流 所占的比例均未做到接近独立的控制。前人曾在理论和实验上研究过束对离子 鞘的影响，但是对束上下游鞘层鲒捣的不对称性却未曾研究。 为了研究柬一本底等离子体中的鞘层特性，本论文的主要工作在双等离子体 装置的源室(source chamber)和靶室(target chamber)中间加两层隔离栅网并 通过其偏压差在靶室形成离子柬一本底等离子体系统，并用自制校准的减速栅网 式离子能量分析议诊断离子分布函数。通过谲节相关的放电参数以实现离子束 能量和柬流比例的控制。在此基础上重点研究了离子束对金属平板的上下游鞘 层结构的影响。主要结论如下： l。实验区中的离子分布函数含有双峰结梅，一群各向同性的本底离子和一群 有定向能量的柬离子。通过调节两隔离栅网压差或放电电压可以几乎独立 地控制束离子的能量，而这两个放电参数对束流比例的影响甚微。柬流比 例主要由热阴极加热电流决定，该参数对柬能量的影响较弱，因此通过控 割热阴极加热电流并辕以嚣隔离栅网偏压差或放电电流的适当调节可实现 束流比例的独立控制。但中性气体气压的改变却造成束能量和束流比倒同 时变化。该实验为柬一等离子体系统中的鞘层结构和波动激发等基础研究提 供了独立控制柬能量和比例的方法。 2，发射探铮诊断的鞘层电势分布结果显示，处于柬一等离子体系统中的平板 上下游的鞘层是非对称的，下游鞘比上游厚。离子柬的出现会使上下游的 鞘层收缩，鞘厚会随着离子束能量及束密度的增加而变薄。将平板换成栅 网，则由于存在透射率，栅网的上下游鞘层始终比乎板情况薄得多。另 外，气压的升高导致束能量降低和密度下降，从而导致主下游鞍层变厚。 本论文的另一部分工作是涉及磁化等离子体的。磁化等离子体中静电离子 回旋波(EICW)在近乎垂直磁场的方向上传播，前人对EICW的所有实验几乎 全在Q-撒赫ine中进行，产生的等离子傣是细长的柱，激发方式单一不可控。为 此，本工作搭建了一个稳态的磁镜装置(SMM)，其直径远大于前人实验的磁 万方数据 摘要化等离子体，轴线申心磁场强度超过1200高斯。这EICW的激发以及磁化等离 摘要 化等离子体，轴线申心磁场强度超过1200高斯。这EICW的激发以及磁化等离 子体鞘层结构等基础研究提供了实验平台。磊一个小的测试蕊真空室中剃J拜l热 阴极灯丝放电产生磁化等离子体，用小栅网加外部驱动信号，开展了EICW激 发的预研实验。得到以下结论： 1。在热龌极放电过程中，热丝所在磁面内电子温度呈现双温，一群对应本底 电子，一群对应初级电子，蕊热丝中闻电子温度只呈现单温，对应本底电 子，说明初级电子被磁场约束只能沿着磁面运动从而电离中性气体，产生 的警离子体扩散至其弛位置。 2。刺用小栅网激发垂直磁场方向传播的波动，测得该波的频率随磁场的增强 而增大，获得其色散关系与EICW较符合，从而验证了外部驱动信号激发 大横向尺度的EICW的可行性。 关键词：柬．等离子体、鞘层、磁化等离子体、静电离子回旋波 万方数据 AbstractA Abstract A bstract Ion-beam-plasma system exists widely in diverse of plasma physics，e．g。，in low temperature plasma-surface interactions，in space plasma environment，and in the excitation of collective waves and instabilities．The investigation of such system has potential applications in plasma material processing as well in basic plasma physics research．Among them．the sheath structure near a wall an electrode immersed in the beam-plasma system is one of the important topic。In previous studies on the excitation ion modes and sheath structures using an ion—beam-plasma system，the ion beam energy