第六章 其他传感器 6.1 光栅传感器 6.2 感应同步器 6.3 光电码盘 6.4 光纤传感器 6.5 超声波传感器 6.6 红外传感器 6.7 电荷耦合器件 6.1 光栅传感器 光栅传感器又称计量光栅。 工作原理:莫尔条纹。 直接测量的物理量是机械位移。 它也可以测量能够转换为位移的其他物理量,如速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等的测量。 6.1.1 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副和光电接收元件组成。 分类: 根据用途不同,光栅制作成:长光栅 圆光栅 光栅根据刻划的形式不同分:黑白光栅 相位光栅 按光栅的光线走向又可分为:透射光栅 反射光栅 透射长光栅 a表示线纹宽,b表示刻线的间距,W为光栅节距(栅距)或称光栅常数,W=a+b。 6.1.2 莫尔条纹及其特点 把光栅常数W相等的主光栅、指示光栅相对叠放在一起,二者不接触,中间留有很小的缝隙,并使栅线之间保持很小的夹角β,用光照射光栅,则在与栅线近乎垂直的方向上得到明暗相间的条纹。 莫尔条纹具有下述特点: 6.1.3 光栅的光路 如前所述光栅式传感器的光路通常有
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