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*2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 电子束和固体样品表面作用 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * SEM形貌像信息 背射电子像 信息深度是0.1~1微米 ,元素成份象和表面形貌象 ,分辩率40nm; 二次电子像 表面5-10nm的区域,能量为0-50eV,表面形貌 ,分辩率0.5-6nm;形貌衬度; 吸收电子像 表面化学成份和表面形貌信息 ,分辨率40nm *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 扫描电镜的特点 较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调; 很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构; 样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 高分辨TEM 高分辨TEM是观察材料微观结构的方法。不仅可以获得晶包排列的信息,还可以确定晶胞中原子的位置。 200KV的TEM点分辨率为0.2nm,1000KV的TEM点分辨率为0.1nm。 可以直接观察原子象 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 高分辨显微像 高分辨显微像的衬度是由合成的透射波与衍射波的相位差所形成的。 入射电子与原子发生碰撞作用后,会是入射电子波发生相位的变化。 透射波和衍射波的作用所产生的衬度与晶体中原子的晶体势有对应关系。 重原子具有较大的势,像强度弱。 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 高分辨像 晶格条纹像 常用于微晶和析出物的观察,可以揭示微晶的存在以及形状,但不能获得结构信息。但可通过衍射环的直径和晶格条纹间距来获得。 一维结构像 即将观察像与模拟像对照,就可以获得像的衬度与原子排列的对应关系; *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * A: 非晶态合金 B:热处理后微晶的晶格条纹像 C:微晶的电子衍射 明亮部位为非晶 暗的部位为微晶 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 二维晶格像(单胞尺度的像) 能观察到单胞的二维晶格像,但不含原子尺度的信息,称为晶格像。 二维结构像(原子尺度的像;晶体结构像) 像中含有单胞内原子排列的信息 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * A: β 氮化硅的结构像 B: α氮化硅的结构像 C,e: β 氮化硅的模拟像和原子排列 D,f :α氮化硅的结构像模拟像和原子排列 形貌分析应用 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * (a) 38% (b) 29% (c) 22% (d) 16% 用不同浓度的前驱体溶液所制出的薄膜的SEM形貌 The effects of precursor concentration on the texture of Gd2CuO4 film *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 介孔结构研究 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 高分子纳米管 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 无机-有机复合 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 高分子纳米球的合成 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 纳米球的微观结构 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * 扫描探针显微镜 控制探针在被检测样品的表面进行扫描,同时记录下扫描过程中探针尖端和样品表面的相互作用,就能得到样品表面的相关信息。 利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于控制扫描的定位精度和探针作用尖端的大小(即探针的尖锐度)。 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * SPM的特点 原子级高分辨率 ; 实空间中表面的三维图像 ; 观察单个原子层的局部表面结构 可在真空、大气、常温等不同环境下工作 可以得到有关表面结构的信息,例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等 *2002年6月7日星期五 清华大学化学系材料与表面实验室 * STM原理遂穿过程 扫描隧道显微镜的基本原理是基于量子的隧道效应。 将原子线度的极细针尖和被研究物质的表面作为两个电极,当样品与针尖的距离非常接近时(通常小于0.1nm),在外加电场的作用下,电子会穿过两 个电极之间的绝缘层流向另一个电极,这种现象称
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