三维碳纳米材料的制备及性能研究-材料科学与工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 PREPARATION AND PROPERTIES OF THREE-DIMENSIONAL CARBON NANOMATERIALS A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Materials Science and Engineering Author: Bo Zeng Advisor: Yuan Lin Professor School : Institute of Microelectronics and Solid-state Electronics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 摘 要 随着半导体器件的发展，微电子封装对于高密度、小型化、低成本提出了越 来越高的要求，作为器件电流信号和热流信号主要通道的互联导线，已成为微电 子封装研发的重要领域。以一维碳纳米管、二维石墨烯等为代表的碳纳米材料由 于有比常规铜导线更高的电导率和热导率，并且具有很高的机械强度，因而成为 金属互联的理想替代材料。本文基于此出发点，对碳纳米管的工艺制备、图形化、 转移方法进行了探讨，并尝试制备三维碳纳米结构，研究碳纳米管的散热和三维 碳纳米结构中电流特性，具体内容包括以下几部分： 1、采用溶胶凝胶法成功制备碳纳米管，并通过光刻薄膜催化剂的方法实现了图形 化碳纳米管阵列的生长，在碳纳米管的生长过程中首次引入氢气成功实现碳纳 米管-多层石墨三维碳纳米结构的制备。 2、由于溶胶凝胶法制备催化剂难以控制，第二部分采用浮动催化剂-化学气相沉 积法以二甲苯和二茂铁（质量分数为 2%）组成的前驱溶液成功实现了碳纳米 管阵列的生长，并通过碳纳米管对基片的选择性生长和温度对碳纳米管的选择 性生长从而实现了碳纳米管阵列的图形化制备，并且采用间接转移方法和直接 转移方法两种方式成功实现了目标基底碳纳米管阵列的完整转移。 3、采用浮动催化剂-化学气相沉积法以乙腈和二茂铁（质量分数为 2%）组成的前 驱溶液成功实现了氮掺杂碳纳米管阵列的生长，并通过氢气的不同含量调节碳 纳米管的氮掺杂含量，通过电化学工作站对氮掺杂碳纳米管电化学性能进行了 表征。 4、通过转移碳纳米管阵列研究了碳纳米管阵列的散热性能，发现碳纳米管阵列可 以显著改善和降低模拟热源的温度，并研究了碳纳米管、石墨烯三维接触互联 的电学性能。 关键词：碳纳米管，石墨烯，互联，散热，三维碳纳米结构 I ABSTRACT ABSTRACT With the development of semiconductor devices, microelectronic package puts forward higher requirements for high density, miniaturization and low cost. The interconnection wire as the main channel of current signal and heat flow signal has become an important field of microelectronic packaging development. Compared with copper wire, the carbon nano material such as one-dimensional carbon nanotube and two-dimensional graphene has higher electrical conductivity, thermal conductivity and mechanical strength. Thus, it becomes the ideal material to substit