08-镀膜教材镀膜机.docVIP

PAGE 1 PAGE 16 蔣文山 2000/01/07 晶科技公司內部員工訓練教材 蔣文山 890105 光學薄膜 第二章 鍍膜機 鍍膜機可分三系統：真空系統、蒸鍍系統及膜 厚監控系統。 真空系統 (Vacuum System) (一)、真空室(Vacuum Chamber) 鍍膜機之主體，製程皆於其中進行，為圓形或長方形金屬体。Leybolb APS1104 鍍膜機為前開門式圓筒形不銹鋼真空室，直徑約1075mm，高約1100mm，水冷卻、加溫管路裝於筒壁。 (二)、真空幫浦(Vacuum Pump) 機械幫浦(Mechanical Pump) 利用機械能(壓縮、碰撞)將氣体分子排出系統外。 1)、迴轉油墊幫浦(Rotary Oil-Sealed Pump) 幫浦內部有一旋轉之偏心轉子 (Rotor)，轉子上有一對受彈簧力之翼片 (Vane)。當轉子旋轉時翼片因受彈簧之 推力而經常接觸在幫浦之靜子(Stator) 壁上。靜子外部儲滿幫浦油，當幫浦運 轉時，幫浦油會由小油路滲入靜子內 壁，於翼片前端及鏡子壁間形成約2μ 之氣密油膜。構造如下圖： 迴轉油墊幫浦係利用偏心之轉子旋 轉，來壓縮排氣，其排氣行程如下: 迴轉油墊幫浦抽氣效率甚高，但空氣 中若含有易凝結之氣体或蒸氣(水、酒精) 等，經幫浦之壓縮到其飽和蒸氣壓時，將 凝結成液体混於幫浦油中，再滲入壓縮槽 中時又會揮發成蒸氣。故幫浦只能將真空 系統抽到該蒸氣之飽和真空度。為克服此 缺失，一般皆加裝一套自動或手動之空氣 混抽裝置(Air Ballast Device)，構造及工 作原理如下： 此裝置之操作原理為當幫浦的轉 子轉到壓縮槽的進氣口完全關閉時，在 大氣壓下之新鮮空氣就從自動或手動 之空氣活門經由彈簧單向活門自動進 入壓縮槽與原有氣体混合時，此時因尚 未被壓縮，故氣体氣壓未達其飽和蒸氣 壓。當轉子繼續運轉而壓縮此混合氣体 時，因新鮮空氣進入時為一大氣壓，混 合氣体在其蒸氣尚未到達飽和蒸氣壓 時，就迅速超過一大氣壓，推開單向吊 耳活門而排出幫浦外。具有此裝置之迴 轉油墊幫浦的最終壓力可達10-4torr。 若將迴轉油墊幫浦之二個壓縮槽 串聯抽氣，可提高抽氣效率，此種幫浦 為二階(Two-Stage)迴轉油墊幫浦(如下 圖)，其最終壓力一般可達10-5torr。 迴轉油墊幫浦對空氣抽氣效率 高，可於大氣壓下使用，然最終真空壓 受所用幫浦油之飽和蒸氣壓所限。 APS 1104鍍膜機使用D65B 二階 迴轉油墊幫浦，抽氣速率65m3/h。 2)、路特幫浦(Roots Pump) 路特幫浦操作原理與一般抽水之齒 輪幫浦類似，二只8字形轉子，一轉子 為馬達驅動，另只則為其連動之齒輪帶 動。轉子間或與定子間距小於0.1mm， 轉動的位置與時間的關係必須非常準 確。潤滑油通常只加於轉軸及齒輪上， 轉子或與定子間完全不用潤滑劑。構造 如下: 抽氣作用為靠高速轉動轉子對氣体 分子撞擊時動能之傳遞，當轉子高速轉 動時，就將氣体從低壓送往高壓處(如下 圖)。 此種幫浦若從大氣壓啟抽，抽氣之 負荷大時，易過熱而損毀。故適合與其 他幫浦串聯，而於10-10-2mbar使用。其 最終壓力為所串聯幫浦限制。又因其能 承擔較大的負荷且抽氣速度高，於大型 鍍膜系統上常用為加強幫浦(Booster Pump)，以輔助前段幫浦，使於高抽氣 負荷下亦能抽至中真空範圍。 APS 1104鍍膜機使用WS501 路 特幫浦，抽氣速率500m3/h。 3)、機械分子幫浦(Mechanical Molecular Pump) 氣体分子碰撞到高速運轉之機件 上而獲得動能，向機件運動之方向移