MEMS薄膜泊松比在线测量方法分析.pdfVIP

第l章绪论 一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形。首先由米劳干涉仪测得悬臂梁的变形，然后分 离出形变中的弯曲分量和扭转分量，进而计算出薄膜材料的泊松比。另一种是采用内 边界固支，外边界自由的圆环形薄膜作为测试结构。首先推导出圆环形薄膜扭转振动、 横向振动和径向振动的频率理论公式，然后三式两两相除，得到三个计算泊松比的理 论公式，用显微运动分析仪测量出圆环形薄膜扭转振动、横向振动和径向振动的谐振 频率，代入相应的公式，即可得到三个泊松比的值，可以取它们的平均值为圆环形薄 膜的泊松比。 1．4论文结构安排 ，，、 第 五 ：虹 泊