微机电系统概述.pptVIP

微尺度效应 微系统中气体的流动模式可根据Knudsen数的大小划分为三个区域： Kn10 —— 流动为自由分子流动或无碰撞流动 Kn0.01 —— 流动为连续流 可采用连续介质流体力学理论来分析 0.01Kn10 —— 流动为过渡态流 流动必须考虑为稀薄气体流，而不是连续介质 MEMS构件中气体流动的Knudsen数为0.03左右必须考虑稀薄气体效应和速度边界滑移 一阶速度滑移边界条件： 微尺度效应 为计入稀薄气体效应，引入了有效粘度系数： 相对流量系数用于描述在狭小间隙内稀薄气体的流动，可从线性Boltzmann方程推导得到： 纵向谐振挤压空气阻尼模型 纵向谐振挤压空气阻尼模型 作如下假设： 运动中两微平面保持相互平行 平板沿垂直表面方向进行运动 运动中两微平面间压力变化小 于环境压力 流体Reynolds方程： 计入稀薄气体作用 修正Reynolds方程： 微谐振器动力学模型 横向振动微谐振器结构图 弹簧—质量—阻尼系统 微谐振器动力学模型 微谐振器动力学方程 其中，有效质量 mp为谐振器振动板的主干质量，mf为活动叉指质量，mb为弹性梁质量，mt为支撑架质量 弹性梁弹性系数 微谐振器动力学模型 在激励信号电压U 的作用下，固定不动电极的叉指与振子叉指间形成交变静电力F，使振子沿x方向发生移动。 驱动力的频域表达式简化为： 静电力表达式： 驱动电压： 振动板与衬底间流场分析 流场在3π/4时刻速度分布图 振动板与衬底间流场分析 流场在π时刻速度分布图 振动板与衬底间流场分析 流场在5π/4时刻速度分布图 振动板与衬底间流场分析 流场在3π/2时刻速度分布图 振动板与衬底间流场分析 流场在7π/4时刻速度分布图 振动板与衬底间流场分析 流场在2π时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在π/4时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在π/2时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在3π/4时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在π时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在5π/4时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在3π/2时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在7π/4时刻速度分布图 振动板上部流场分析 流场在2π时刻速度分布图 微谐振器的模态分析 微谐振器各阶谐振频率仿真值 模态 微谐振器一 (Hz) 微谐振器二 (Hz) 微谐振器三 (Hz) 第一阶 24946 19611 24549 第二阶 26060 20038 35391 第三阶 41564 32415 39883 第四阶 55542 33982 84945 第五阶 79129 74268 138490 第六阶 112890 77481 162540 第七阶 185780 82214 238300 微谐振器系统谐响应分析 微谐振器（case1）的幅频响应图 微谐振器系统谐响应分析 微谐振器（case2）的幅频响应图 微谐振器系统谐响应分析 微谐振器（case3）的幅频响应图 空气阻尼对作纵向谐振运动微谐振器的影响 振动瞬态响应 周期内阻尼力变化曲线 微平面构件的空气压力分布 稀薄气体效应影响 a 谐振频率 f/22kHz b 谐振频率 f/100kHz 1. 不计稀薄气体效应 2. 计入稀薄气体效应 空气阻尼理论模型研究与微谐振器实验数据对比 谐振频率的比较 谐振器类型 谐振频率结果对比（KHz） 理论值 实测值 相对误差（％） Case4(面硅) 20.65 21.475 3.99 Case5(体硅) 8.27 8.35 0.95 Case6(体硅) 13.29 13.39 0.74 Case7(体硅) 12.7 12.15 4.33 品质因子的比较 理论计算结果和实验值 Q 值 计入稀薄气体效应和滑移边界条件的空气阻尼模型 27.1 不计稀薄气体效应和滑移边界条件的空气阻尼模型 26.2 简化模型 31.67 case4实验值 25.23 空气阻尼理论模型研究与微谐振器实验数据对比 MEMS发展目标 通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。二