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东南大学纳米物理:5. 物理方法
东南大学研究生纳米物理教学课件
(2)物理气相沉积(PVD)第三章:纳米材料的制备技术和原理 通过热蒸发、离子溅射等方法,使原料成为原子分子,然后再使原子分子凝聚成纳米颗粒制备过程不伴随化学反应,全部是物理变化过程
1
2
气相沉积的基本过程 衬底 低温凝结成纳米颗粒或薄膜物质输运能量输运
1)源在蒸发变成气体
气体
能量
块状材料 (靶材)高温 3
2)源气体向低温端输运 3)气体变冷过饱和 4)过饱和蒸汽冷凝成薄膜或纳米颗粒 4
(热蒸发、微波、激光、气体源)
(3)PVD的热力学原理
液体和固体的饱和蒸气压:
Ps= A exp(λ SV/ kTs )
PL= A exp(λLV/ kTL ) 温度(T)下:若分压小于饱和气压继续蒸发,液相变气相
Pe
5
若分压大于饱和蒸气压:过饱和冷凝,气态变成液态或固态饱和状态下气液平衡时:进入液面和逃逸出液面的,原子数动态平衡
6
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