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第9章 掺杂技术 第9章 掺杂技术 本章目标： 第9章 掺杂技术 一、扩散 二、离子注入技术 三、集成电路的形成 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 2、杂质在硅中的扩散 3、扩散设备与工艺 4、工艺质量检测 第9章 掺杂技术  一、扩散 1、扩散原理 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （1）扩散方式 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （1）扩散方式 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （1）扩散方式 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （1）扩散方式 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （1）扩散方式 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （2）扩散方程 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （2）扩散方程 第9章 掺杂技术 一、扩散 1、扩散原理 （2）扩散方程