透射电镜介绍公开课.pptVIP

透 射 电 镜 介 绍 Introduction of Transmission Electron Microscopes (TEM) 一 概况 透射式电子显微镜(Transmission Electron Microscopes )简称透射电镜。 原理：利用磁透镜对穿过样品的电子束进 行放大，这种电子束带有样品中的超微结 构信息，可以在荧光屏上显示超微结构的 放大电子图像。 特点： 分辨率高：H-9500可达0.10nm 放大倍数高：几百~数十万倍 应用范围广：生物、医学、冶金、 化学化工 HITACHI H-7650 HITACHI H-7700 二 结构 1、电子光学系统 照明系统 镜筒 成 像 系 统 观察记录系统 电子枪 聚光镜 样品室 物镜 中间镜 投影镜 观察室 照相系统 结构 1.1 照明系统 电子枪 电镜以电子枪作为光源， 相当于光学显微镜的照明 可见光源。目前电镜大多 采用由阴极、栅极和阳极 组成的三极式电子枪。 阴极 俗称灯丝，一般为直径0.12mm的钨丝 制成弯曲或发叉式（也称V型）。通入加热 电流时，灯丝尖端产生热电子发射，并在 阳极电压作用下，将发射的电子加速到极 高的速度。另外还有LaB6阴极和场发射钨 单晶阴极，其亮度和寿命均优于前者。 栅极 由一个中央孔径d=2mm的圆金属筒 构成。栅极水平面与灯丝尖端的距离 h=0.5~1mm，并且在栅极上加有相对 于阴极的负电位，因此也称负偏压栅极，用于有效地控制阴极（灯丝）的发射电流。 阳极 阳极电位为零，相对于阴极是正的加速电压。通常几十千伏~几百千伏，视不同要求而定，其作用是使电子加速。 聚光镜 聚光镜的作用是将电子枪所发射的电子束 会聚在样品上，控制照明亮度、电子束斑的大小及孔径角。 构成：电磁透镜、聚光镜光阑、偏转线圈、 消像散器等组成。 Overfocused Focused Underfocused (Second condenser lens ) 1.2 成像系统 成像放大系统是电镜获得高分辨率和高放 大倍数的核心组件。一般由物镜、中间镜 和两个投影镜组成。可通过调节中间镜和 投影镜的电流来改变不同的放大倍数，改 变物镜电流对图像进行聚焦。装上有关附 件，还可进行扫描、电子衍射和能谱分析 等方面的观察和测试。 物镜(Objective lens) 物镜(Objective lens)是成像放大系 统的第一级成像透 镜，其作用是将样 品信息作初级放大， 一般放大倍数为50 倍。 物镜光阑(Objective aperture ) Remove aperture Insert aperture 中间镜(Intermediate lens) 中间镜和投影镜的作用是将来自物镜的初 级像逐级放大，最后成像于荧光屏上。其 结构与物镜基本相似，中间镜是长焦距弱 磁透镜，投影镜是短焦距强磁透镜。利用 改变中间镜和第一投影镜的电流来控制总 放大倍数。 投影镜(Projector Lens) 1.3 观察记录系统 荧光板 双目镜 底片盒 底片传送装置 控制暴光装置 2 真空排气系统 真空系统的作用是使镜筒内部处于高真空 状态，也是决定电镜能否正常工作的重要 因素。如果真空度差，则： (1)导致气体分子与高速运行的电子相互作用而随机地散射电子，降低图像的反差。 (2)电子枪中所残存的气体分子会产生电离而放电，引起电子束发射不稳定或“闪烁”。 (3)残余气体与热灯丝作用，缩短灯丝寿命。 (4)残余气体聚集在样品上会污染样品。 真空系统包括： 机械泵、扩散泵等 真空检测装置 阀门和控制系统 3 电气系统 高压电源 透射电源 偏转线圈电源 真空系统电源 照相系统电源 安全保护电路 谢谢