当加速电压不稳定时电子束波长随之变异.pptVIP

1、照明系统：是由电子枪、聚光镜、消像散器、合轴线圈组成。作用是提供一束亮度高，照明孔径角小、束流稳定的照明光源。 （1〕 电子枪 是TEM的发射源，作用相当LM的照明光源。EM采用由阴极、栅极和阳极构成的三极式电子枪。阴极称为灯丝，由钨丝制成，当阴极加负高压，电流使灯丝加热，产生热电子，并在阳极的作用下，栅极的控制下发射出运动速度极高的电子束。 （2）、聚光镜 其作用是将电子枪发射的电子束会聚在样品上，控制照明度、电子束的大小和孔径角。聚光镜由三级电磁透镜构成，此外还包括聚光镜光栏、合轴线圈、消像散器等。 2、成像系统： 是EM获得高分辨率、高放大倍率的重要组成部分，由样品室、物镜、中间镜、投影镜 组成 （1） 样品室 是第二聚光镜与物镜之间容纳样品台的地方，样品台的作用是装载样品，使样品在镜筒内平移、倾斜和旋转。 （2） 物镜 是成像系统的第一级透镜，作用是将样品信息作初级放大。物镜中还有两个重要的控制器，一个是物镜可变光栏，它可以限制电子束孔径角，减少球面像差，并可以档住散射电子而增加图象反差。另一个是消像散器，它可以校正和消除像散，使物镜处于最佳工作状态。 （3〕、中间镜和投影镜 这两种透镜的作用是将物镜的初级放大像进行逐级放大，最后成像于荧光屏上。 （4）、观察记录系统包括荧光屏、双目镜底片盒、底片传送装置及曝光装置。 * * 电镜技