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南台科技大學 劉雲輝 南台科技大學 劉雲輝 劉雲輝 * 壓電材料應用與超音波換能器設計 精密產業機械與線上檢測技術國際研討會 南台科技大學 機械工程系 報告人：劉雲輝 November 22 , 2001 劉雲輝 * 壓電材料介紹與應用 ?壓電材料特性 ?高剛性奈米位移壓電驅動器 ?壓電致動器為設計之主被動防震平台 超音波換能器設計 超音波換能器應用 大 綱 劉雲輝 * 壓電材料介紹與應用 PZT壓電材料是由鉛(Plumbum)，鋯(Zirconate) ，鈦(Titanate)等元素所組成，其全名為Lead Zirconate Titanate。化學式為Pb(Zr-Ti)O3 極化是成為壓電材料的一個重要的程序，經過極化後，將原本雜亂的極子，使其成為規則排列的極子，而極化的電壓必須大於2000v/mm (1) 極化前 (2)極化中 (3)極化後 劉雲輝 * 壓電效應 壓電現象是機械能與電能之間的能量轉移現象 某種結晶材料受到壓力或張力時，表面會產生電荷，形成電場與電壓，此種現象稱為正效應 若加入電場使其產生形變，此種稱為逆效應 壓電材料 電 能 機械能 逆效應 正效應 壓電效應示意圖 劉雲輝 * 壓電材料之特性 T1： Stress S1： Strain E1: Electric Field D3: Electric Displacement Mechanical respond to Electrical inputs and Electrically Respond to Mechanical Input : Compliance d31: piezo coefficient : dielectric constant 劉雲輝 * Displacement of PZT Ceramics applied electric field strength E piezoelectric material used ?piezoelectric strain coefficients dij the relationship between the applied electrical field and the mechanical strain produced the length L of the PZT ceramics 劉雲輝 * 高剛性奈米位移壓電驅動器 奈米級位移解析度、快速反應、大出力 ?解析度受限於壓電放大器雜訊、感測器或控制電路雜訊、 機械結構設計 最大位移 最大出力 劉雲輝 * 壓電致動器為設計之主被動防震平台 何謂振動隔離系統(Vibration Isolation System) ?為達到精密定位及量測的需求，必須設法降低外界進來的振動干擾對系統的影響，這種用來隔離外界振動干擾的裝置或機構所形成的系統，稱之為振動隔離系統。 一般設計上可分被動式及使用致動器的主動式兩種。 平 台 被動式振動隔離器 低剛性彈簧 被動式阻尼器 平 台 Fc 低剛性彈簧 主動式阻尼 主動式振動隔離器 controller sensor actuator 劉雲輝 * 主動、被動式的優缺點 較昂貴 便宜 成本 快，為外加能量的控制方式 慢，只靠振動能自然發散 反應速度 在高反饋增益下易造成不穩定 穩定性佳 穩定性 低頻效果佳 共振頻率 倍以上頻率範圍有降低，低頻效果差 隔離地面震動效果 感測器及致動所構成之閉迴路控制器、低剛度支架 被動式阻尼器、低剛度支架 構成元件 主動式 被動式 改進方式：希望結合被動式穩定及主動式好的振動控制效果等 優點，而避開其缺點，故有主、被動層串聯的設計 劉雲輝 * 超音波換能器設計 PZT x=0 x=L/2 x=L 換能器的自然頻率 換能器的振動模態 where ， ， ，n=1,2,3, 劉雲輝 * 有限元素分析 劉雲輝 * 超音波致動器 劉雲輝 * 超音波換能器應用 (加速乳化) 劉雲輝 * 南台科技大學 劉雲輝 * 南台科技大學 劉雲輝 南台科技大學 劉雲輝