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扫描电镜及其附属部件 相关知识 燕山大学 主要内容： 扫描电镜相关知识 能谱仪相关知识 电子背散射衍射相关知识 扫描电子显微镜（scanning electron microscope),简称扫描电镜（SEM），是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。目前，扫描电镜已经在多个领域得到了应用，尤其在材料研究领域，扫描电镜已经成为了应用最为广泛的设备之一，这就要求我们对扫描电镜要进行细致深入的了解。 1.扫描电镜相关知识 材料与电子的相互作用 TEM信号源 SEM信号源 EDS或WDS信号源 扫描电子显微镜的构造 现代扫描电镜结构示意图 Hitachi冷场发射扫描电镜 FEI热场发射扫描电镜 Hitachi钨灯丝扫描电镜 KYKY钨灯丝扫描电镜 扫描电子显微镜的特点 扫描电子显微镜具有如下特点： （1）分辨率高 高端的场发射扫描电镜分辨率目前已经可以 达到或优于1nm。 （2）放大倍率范围宽 放大倍率可从几倍到几十万倍，例如日立S4800冷场 发射扫描电镜的放大倍率可从20~800,000倍。 （3）三维立体效果好 伪彩让微观世界色彩斑斓 （4）样品制备相对简单 随着可变压力扫描电镜（VPSEM）和环境扫描电镜（ESEM）