声表面波气体传感器阵列信号采集电路设计-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 摘要 摘 要 目前，随着工业的发展，各种各样的有毒、污染气体被随意排放，对人类的 健康构成极大的威胁，因此各国都在加紧研究能快速、准确检测出此类气体的气 体传感器。相对于传统的半导体气体传感器，声表面波气体传感器具有灵敏度高、 尺寸小、功耗低等优点，并成为近年来国内外学者研究的热点之一。 声表面波气体传感器在工作过程中，由于涂覆在传感器表面的敏感材料吸附 气体，使得声表面波传输路径上的介质性能发生改变，从而使得声表面波传感器 的谐振频率随被检测气体浓度发生相应的变化，通过检测电路监测这个频率变化 量，即可测得待测气体相对浓度，通过换算即可得到气体的真实浓度。整个过程 中，检测电路的电磁兼容性能起到举足轻重的作用，直接关系到传感器的精度， 因此，设计出高性能的检测电路是声表面波气体传感器应用的重要前提。 本文采用频率检测的方法，基于反馈振荡器的工作原理，通过对振荡电路的 开环相位和增益进行检测和调整的方式，首先设计了含射频放大器、声表面波器 件、匹配电路单元的振荡电路。再通过选用合适的集成混频器和比较器，加以适 当的滤波器，得到最终的检测电路实现方案。接着，设计制作了具有 1 个参考通 道、1 个测试通道的 2 层电路板，并对其稳定性进行了测试，在 30 分钟内其频率 波动小于 20Hz，标准方差约为 3.92，具有相当高的中期稳定性。在气体敏感特性 的测试中，通