声表面波气体探测器ARM控制电路设计及敏感膜工艺研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 摘 要 摘要 声表面波(SAW)气体传感器，相对于其他的气体传感器，具有尺寸小、精度高、 灵敏度高、易于批量生产等优点，因此在环境监测，临床医学、军事和民用安防 等众多方面得到了越来越多的应用。而且，正是由于声表面波(SAW)气体传感器的 体积小、功耗低的优点，对于便携式气体传感器的研制提供有力的保证。因此， 在保证声表面波(SAW)传感器性能的前提下，实现便携化也是声表面波(SAW)气体 传感器研究的一个重点。 论文首先介绍了声表面波(SAW)器件及其传感器工作原理，在此基础上，设计 完成了一套与声表面波(SAW)气体探测器频率振荡电路相匹配的传感器控制电路。 该控制电路包括：电源驱动电路、预富集器控制电路、气泵工作电路、微处理器 工作电路、LCD 显示电路、按键控制电路、报警电路。该控制电路可以同时检测 到前端气体传感器振荡电路所产生的三路频率信号，通过对预富集器、气泵的控 制，对三路频率信号进行处理并显示检测的信息。 同时，本论文还系统研究了气体喷涂法(Air Brush Coating)制备声表面波(SAW) 气体传感器敏感膜的工艺。在双端谐振型 SAW 传感器表面沉积了具有不同粘弹性 的三种聚合物材料，分别为乙基纤维素(ECEL)、聚环氧氯丙烷(PECH)和聚甲基 -{3-[2-羟基-4,6-二(三氟甲基)]苯基}-丙基硅氧烷(DKAP)，并研究了喷嘴