切线回转法加工大型高次非球面光学零件新原理的研究.pdfVIP

西僭 抛物面 椭球面 双曲面 售。一，魁 图1．1校正球差原理图 图1．2球面镜和1}=球面的成像原理效果对比 1．2．2非球面的应用领域 近几十年来，由于航天、航空、天文、电子、光通讯、激光等技术的发展， 非球面光学零件在光学系统中得到愈柬愈广泛的应用，这首先是由于近代科学与 技术的发展，要求光学系统的应用向可见光波段的两端，即红外与紫外延伸，而 头红外及紫外光的材料制造困难，品种又少，其中尺寸大的更难解决，在极紫外 (XUV)波段则根本没有透射材料，若不采用反射光学系统并依靠非球面来消象 差，则这些困难无法克服；其次，由于工艺技术的进步，制造上的难题逐步被解 决，光学系统中采用非球面在经济上也可以承受了H1。 非球面光学零件因其优良的光学性能可广泛应用于各种现代光电子产品，在 高科技、国防和民用领域中都有着广泛的应用前景。 军事上，用于瞄准、测距、微光夜视仪、红外夜视仪、飞行员和步兵头盔式 夜视仪、热像仪、导弹导引头、激光炸弹、微光武器、激光武器、制导、火控系 统和指挥仪等方面的光学系统中均采用了非球面光学零件啼1，在一辆美国的Ml 坦克的光学系统中就采用了30块棱镜和90块透镜，其中采用了很多非球面透镜。 在核聚变光学系统实验装置一组中，采用约7000多块各种光学零件，其中大量 的是非球面光学零件。 2 民用上，用于CD、VCD、DVD、手机、光通讯、数码相机、可视电话、摄像 机、变焦镜头、激光打印机、条形码读头、照相机镜头、取景器、放映机镜头和 各种检测仪器，以及用于医疗上的激光手术刀、内窥镜等各种诊断和治疗仪器的 光学系统也采用了非球面光学零件H’61。 1．2．3非球面光学零件加工技术 长期以来，由于非球面光学零件加工难，使它一直未能得到广泛应用。但是 随着科学与技术的发展，各种新的光学仪器中的光学系统都迫切需要采用非球面 光学零件，因此多品种大批量和变批量加工非球面光学零件的技术成为当前亟待 要解决的重要课题之一。为了使非球面光学零件得到普遍应用，人们不断探索和 研究光学非球面光学零件加工技术。 非球面加工方法较多，但根据形成方法，非球面零件的加工可归纳为4类： 包括复制成型法、附加成型法、去除成型法和变质成型法。 下面简单介绍非球面加工的各项主要技术： 1)计算机数控单点金刚石技术(SPDT) 计算机数控单点金刚石技术(SPDT)是美国国防科研机构于20世纪60年代率 先歼发、80年代得以推广应用的一项非球面光学零件加工技术，它是在超精密 数控车床上，采用天然单晶金刚石刀具，在对机床和加工环境进行精确控制条件 下，直接利用天然金刚石刀具单点车t争J；hH工出符合光学质量要求的非球面光学零 件，该技术主要用于加工中小尺寸、小批量的红外晶体和软金属材料的光学零件， 采用金刚石车削技术加工出来的直径120mm以下的光学零件，面形精度达微米 级，表面粗糙度值为几十纳米级。目前采用单点金刚石技术可以加工的材料有： 有色会属、锗、塑料、红外光学晶体、无电镍等。上述材料均可直接达到光学表 面质量要求。此技术还可用来加工玻璃、钛、钨等材料，但是目前还不能直接达 到光学表面质量要求，还要进一步研磨抛光。该技术与粒子束抛光技术相结合， 可以加工高精度非球面光学零件；与镀硬钛膜工艺和环氧树脂技术相结合，可以 生产高精度非球面光学零件，且价格相对低廉m。 2)超精密麽削技术 对于玻璃、陶瓷等硬材料来说，若采用车削方式加工非球面光学零件，其面 形精度及表面；fH糙度很难达到光学零件的要求，必须通过磨削或抛光进一步提高 其表面精度。在磨削加工中，为了使加工表面不产生脆性断裂现象，使材料以“塑 性”流动方式去除，必须保证未变形切削厚度小于脆性——塑性(或称延性)转换 临界值。该临界值因材料而异，大约为0．1∥／／／。能满足这种磨削条件的方式称 为延性磨削方式。延性磨削方式要求超精密磨床具有优于0．1∥掰的运动精度和 足够的动刚度，要求微细磨粒砂轮能在磨削过程中保持足够锋利哺3。 3)大型馒质光学零件计算机数控研磨和抛光技术CCOS