切线回转法加工高次小型非球面光学零件新原理的研究.pdfVIP

但目前的数控加工方法解决非球面光学零件加工中存在着较难克服的问题。如果认真 分析和研究数控加工方法，能够发现数控加工方法存在的问题。实际上目前的数控加 工是插补原理，这种插补原理实质上是通过逐渐逼近的方法获得非球面曲线，所以存 在理论性误差，这种理论性误差表现为非球面零件上出现的局部波纹误差。另外目前 数控加工存在设备昂贵，操作复杂，加工周期长，成本高等缺点。因此，改进现行的 数控加工技术，克服产生加工波纹的问题，提高精磨精度，减少抛光时间，提高加工 效率，最终较好地解决非球面光学零件加工问题是一项重要研究课题。 精度、粗糙度及变质层是零件加工质量的三项指标，对光学零件而言，这三项质 量指标要求都很严格。就非球面光学零件加工而言，保证其面形精度是最难的问题， 至今还没有一种可以达到精度高、通用性好、简便易行的加工方法。本课题旨在研究 出一种简便的加工方法来加工高次小型非球面光学零件，克服当前数控加工的一些缺 点，提高非球面光学零件加工的表面质量，保证局部误差，降低加工成本，提高加工 效率，满足当前各行业对非球面光学零件加工的不同需求。 1．2国内外现状 1．2．1国外非球面光学零件加工设备 目前加工小型非球面零件主要采用车削、磨削和模压技术等。在超精密加工机床 制造方面比较先进的有美国、德国、英国和日本等国家啼】。下面针对主要几种加工方 法介绍国外加工技术的现状。 1)非球面车削技术及优缺点 数控单点金刚石车削加工非球面光学元件所用的设备是金刚石车削机床。目前， 生产金刚石车削机床的主要厂家有美国的摩尔精密机床公司和普奈莫精密公司，还有 日本的东芝机械公司以及英国、荷兰的某些科研机构。 M—18油淋非球面加工机以及Moore T型窗身机床等；普奈莫精密公司生产销售的产品主 要有MSG一325型、ASG一2500型、Nanform600型、Ultra一2000型。 代表当今世界最高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯·利佛摩尔(LLNL)实验 型大型立式超精密车床。 2 图12美国超精密数控机床ASG-2500 日本东京机械公司生产的是ULG系列精密非球面加工机及G肝系列非球面镜片模压 成型机。 图13日本MEl05超精密金刚石车床 超精密数控金剐石车床是金刚石车削加工技术的不可缺少的设备。目前超精密数 控金刚石车床的工件轴和工具轴的径向跳动精度可达0．02～O．05微米、数控脉冲分辨 率可达0．01微米。能车制大中小平面、球面、非球面等较软材料的零件，通用性较好。 但金刚石刀尖很尖锐，需要走刀量很小，才能保证较小的表面波纹度，而且数控插补 的理论性误差的存在，用金刚石车削的方法得到较快的加工效率和连续光滑的光学表 面是很困难的。 2)玻璃光学模压成型技术生产及其设各状况 玻璃光学模压成型技术是一项综合技术，需要设计专用的机床。目前，掌握这一 技术的主要由美国的柯达、康宁公司；日本的大原、保谷、欧林巴斯、松下公司：德 国的蔡司公司和荷兰的飞利浦公司等，但是能用于模压的玻璃种类和尺寸是有限的。 3)超精密磨削、抛光生产及其设备现状 在高精密磨削及抛光技术方面，德国施耐得光学机械公司90年代末制造的ALG．100 型计算机数控非球面磨床和ALP—lOO型数控非球面抛光机，可以高效率的进行非球面光 抛光就可以使光学非轴对称非球面零件的加工精度达到亚微米级乃至纳米级的范围。 目前，美国的亚里桑那大学的光学中心，己基本上用计算机数控研磨抛光技术取 代传统的手工抛光用来生产非球面光学零件。另外，美国罗彻斯特大学已实现了非球 面透镜的生产自动化。90年代美国空军成立光学制造中心，并开发出了光学自动化和 管理技术(opticam)，继而研制出了opticamSM加工系统，实现了光学零件的柔性自动 化生产∞1。但是用数控磨削来加工的光学零件需要再进行抛光工序，这使效率大大降低。 1．2．2我国非球面光学零件加工设备及生产现状 我国现在已经有一些大学和科研单位开展非球面零件的超精密加工技术的研究工 作，其中哈尔滨工业大学、国防科技大学、航空部303所、航天部230厂、北京机床研 究所、上海机床厂及长春光机精密研究所等单位都在从事超精密机床的研制，并都取