离子镀膜机真空机组设计及涂层工艺研究-材料工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究 工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外， 本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请 学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献 均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 日期 西华大学学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，在校 攻读学位期间论文工作的知识产权属于西华大学，同意学校保留并向国家 有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，西 华大学可以将本论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采 用影印、缩印或扫描等复印手段保存和汇编本学位论文。(保密的论文在解 密后遵守此规定) 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 日期： 西华大 西华大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 摘要 为提高切削刀具的耐磨性、耐蚀性以及使用寿命，常在刀具表面涂一层硬质薄膜来 满足使用。采用离子镀膜机制备刀具薄膜是薄膜制备的一种重要方法，在刀具行业应用 广泛。薄膜通常是在高真空环境下制备的，因此高真空环境的获得对于离子镀膜机尤为 重要。 本文首先简单介绍了真空技术基本知识，以及几种常用真空获得设备