POL不良分析Logic-Tree分析.pptVIP

* 问题点 1次原因 2次原因 3次原因 改善Point 偏光板 Centering部 移送Roller 吸入Braket 环境(上部,下部) 移栽机 Panel位置决定 Panel上板翻转部 INDEX部 偏光板 剥离部 排气部 Hepa Filter 上下板附着部 设备 数量 接触面 清扫状态 流速 流量 和Panel的间隔 Particle 清扫状态 Pad部 异物 和Panel接触面 Air Gun 位置 流量 流速 反送Table 清扫状态 Air Gun 位置 流量 流速 下部异物聚层 Air Hose 漏斜 Cutting部异物去除 剥离后露出时间 容量 位置 流量 流速 寿命 位置 Roller数调整 接触点减少 周期清扫 流速增大 流量增大 最佳条件实现 流入途径追击 周期清扫 周期清扫 接触方式 变更 Panel挨近方式变更 流速增大 流量增大 周期确认及清扫 Panel挨近方式变更 流速增大 流量增大 下部清扫周期设定 磨损周期了解后事先交换 入库检查强化 异物流入抑制 容量点检 按气流的流动位置移动 性能点检 性能点检 交换周期设定 效果验证 线头不良原因分析 Logic Tree 附录 线头