vaccummsputtering讲义-公开课件.pptVIP

Vacuum System Sputtering Chris Chen 真空概念? 所謂真空並不是內空無一，而是指在固定空間 內，壓力低於周圍的大氣壓力（指1大氣壓力 真空度衡量? 真空是一種環境，其衡量單位就是氣體壓力，壓力值越低，真空度就越低，常用單位有 （1）pa，（2）mbar （3）torr，其關係數 1大氣壓=1.03×10e5 pa 1mbar=100pa 1torr=133pa 真空的形成 地球受引力的影響，離地球表面高低不同，壓力隨著變化，因此外太空大約是個超高的真空環境。 在地球表面上要形成真空環境，唯有靠真空pump抽氣來達成。隨著真空pump使用上限制,真空範圍可區分為: 真空pump 真空邦浦元件 目前所有的真空邦浦，並沒有一種能單獨從大氣抽氣至高真空，必須前段使用粗抽邦浦從大氣抽至1*10E-2,10rr，再利用高真空邦浦從1*10E-2來抽氣至高真空。 油封式機械邦浦(oil seal Rotary pump) 油封邦浦是電子業；光學工業，及一般裝飾鍍膜工業最常用的粗抽邦浦，其優點是穩定、方便及省錢、最大缺點是壓力在0˙2Torr以下時，一發生油氣回流至 腔體現況?真空範圍可達5*10E-4Torr. 乾式邦浦(DRY PUMP) 乾式邦邦浦是目前半導體工業、TFT,LED光電工業最常用無油式粗抽邦浦，其優點 ?? 是可產生無油非常乾淨的環境，真空範圍可達5*10E-4Torr. 渦輪分子邦浦(Turbo Pump) TURBO PUMP 是目前相同排氣效率，最昂貴的真空邦浦，最常用於學術研究單位，範圍可達10E-2到10E-11Torr,無法獨立運轉，必須搭配乾式邦浦作為前級粗抽邦浦抽氣，優點是乾淨、無油、稼動率高、操作簡單、容易解決突來壓力，前置時間最短，缺點：維護昂貴、對水氣抽氣效率很差、大氣進入之慮。其轉子轉速一般為37500~90000rpm. 魯式邦浦(Rooster? Pump) 魯式邦浦?無法單獨抽氣，必須搭配油封式機械邦浦或是乾是非浦連接在一起使用，優點是具有最大量抽氣的真空幫浦，真空範圍可達5*10E-4Torr. 冷凍邦浦(cryo pump) cryo pump 是目前半導體使用最普遍，乾淨無油高真空邦浦，抽氣範圍可達10E-2到10E-11Torr對水氣抽氣效率最高最大，因為是利用極低溫(約零下273。C)來捕捉氣體分子，但因一段時間後需利用N2來Purge，吸附?捕捉的氣體分子用粗抽PUMP抽走，為其最大缺點。 油擴散式邦浦(Diffusion pump) Diffusion pump 是目前光學業使用最普遍高真空幫浦，也是目前抽氣速率最大的高真空幫浦、優點: 是便宜、構造簡單、維護費低廉、缺點是：對水氣抽氣效率較差及有油氣回流腔體問題。 真空量測元件 要得知真空度狀況,需靠真空計;依真空度範圍,精度需求而有不同真空計 1、派拉尼真空計(pirani gauge) 2、冷陰極離子真空計 ( cold cathode ion gauge) 3、熱陰極離子真空計 ( hot cathode ion gauge) 4、電容薄膜式真空計 (capacitance diaphragm gauge) 派拉尼真空計(pirani gauge) 目前使用最廣泛粗真空真空計 ,使用範圍760torr(一大氣壓)~5*E-4torr,?在E-4torr範圍真空誤差約26% 冷陰極離子真空計 ( cold cathode ion gauge) 目前使用最廣泛高真空真空計之一,?? 使用範圍E-3torr~E-9torr,在E-3torr~5E-4torr範圍真空誤差約26% 熱陰極離子真空計 ( hot cathode ion gauge) 目前使用最廣泛高真空真空計之一,使用範圍1*E-3torr~E-10torr, 缺點:使用壽命短,當有通氧氣時離子加熱燈絲易燒斷 電容薄膜式真空計 (capacitance diaphragm gauge) 目前使用最精準,線性度最高真空真空計,?使用範圍依需求而不同規格常用規格1torr~1*E-3torr;0.1torr~1*E-4torr 缺點:價格貴;使用範圍小 薄膜沈積的兩種常見的製程 化學氣相沉積CVD(Chemical vapor deposition) ex: APCVD(Atmosphere Pressure常壓), LPCVD(Low Pressure低壓) PECVD(Plasma Enhanced電漿) 物理氣相沉積PVD (Physical Vapor Deposition) (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit