图案化薄膜的多波长椭偏影像对比检测.pdf

圖案化薄膜的多波長橢偏影像對比檢測 * 謝富翔 , 王浩偉 * 明志科技大學 , 機電工程研究所 E-mail: m941e8015@.tw 工業技術研究院, 量測技術發展中心 , 儀器與感測技術發展組 E-mail: hwwang@.tw 本文探討波長及入射光強對薄膜橢偏影像對比的影響。影像橢偏系統架構上使用起偏器-相位補 償器 -樣品-檢偏器的方法，調整起偏器的方位角與相位補償器的相位角，使特定區域消光，凸顯出消 光區域與非消光區域的影像對比。本研究使用金屬鹵素燈結合單頻儀所產生多波長窄頻光為光源，藉 著特徵波長、高光源強度，及橢偏消光效果，提升圖案化薄膜間的影像對比，實驗結果將與多波長影