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2-霍耳离子源介绍.pdfVIP

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  • 2019-06-01 发布于四川
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2-霍耳离子源介绍.pdf

    2006 APPLIED PLASMA TECH. 111 2006 深圳 PowerIon 系列霍尔离子源 霍尔离子源（Hall Ion Source）自上世纪80年代问世以来， 经过不断改进完善，已成为与德国Advanced Plasma Source (APS) 同类的低能大束流离子源。其广泛应用于光学镀膜、溅射镀膜、 阴极弧离子镀等真空镀膜过程中的离子束辅助镀膜工艺。由于其

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