20XX年无尘车间管理制度汇编.docVIP

资料整理： KLC空气过滤器_KLC净化设备_风淋室设备 资料整理： 金田空气过滤器_ 金田净化设备_ 金田净化工程 第 PAGE 1 页 共 NUMPAGES 19 页 无尘车间管理制度 (某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考) 目 录 无尘车间管理的目的 无尘车间管理的原则 适用范围 术语 管理程序 5．1 无尘车间施工管理制度 5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准 5．3 无尘车间人员管理制度矚慫润厲钐瘗睞枥庑赖賃軔朧碍鳝绢懣硯涛镕頃赎巯驂雞虯从躜鞯烧论雛办罴噓剥淚軔琿閔馐虯圓绅锾潴苏琺锅苁。 5．4 无尘车间洁净服管理制度 5．5 无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度 5．6 无尘车间清洁、清扫和灭菌管理 5．7 无尘车间洁净室安全管理 版本更改记录 1．0 无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。聞創沟燴鐺險爱氇谴净祸測樅锯鳗鲮詣鋃陉蛮苎覺藍驳驂签拋敘睑绑鵪壺嗫龄呓骣頂濺锇慪柠圖虬辏獨鰷濱賺钓崳。 2．0 无尘车间管理的原则 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物