旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析.pdf

第 38 卷第 1 期 光电工程 Vol.38, No.1 2011 年 1 月 Opto-Electronic Engineering Jan, 2011 文章编号：1003-501X(2011)01-0093-05 旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析 1, 2 1 1 杨 鹏 ，伍 凡 ，侯 溪 ( 1. 中国科学院光电技术研究所，成都 610209 ； 2. 中国科学院研究生院，北京 100039 ) 摘要：为满足光学元件的高精度检测要求，绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程 中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获 得旋转非对称面型误差的检测领域旋转平均法成为一种简单易行的绝对检测手段。旋转平均法适用于平面、球面 与非球面旋转非对称面型检测。本文对旋转平均法的原理进行了介绍，利用光学设计软件对旋转平均法的检测过 程进行仿真。利用仿真检测对待测面形的旋转非对称项误差及kNθ旋转对称项进行量化分析，仿真分析出的结果 与理论结果较好的吻合。仿真分析的实验结果表明：利用旋转平移法可有效提高非旋转对称面形检测的精度，实 验仿真模型可有效对实际检测过程进行仿真。 关键词：光学检测；旋转非对称项绝对检测；仿真分析 中图分类号：TH744.3 ；TN247 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.018 Simulation Analysis of Absolute Measurement for Rotationally Asymmetric Surface Error 1, 2 1 1 YANG Peng ，WU Fan ，HOU Xi ( 1. Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China ) Abstract : To meet the high accuracy optical testing requirement, the absolute measurement technologies instead of traditional testing techniques are more and more used in optical testing. However, the traditional absolute measurement technology has its own scope and complexity of the experimental process which required experimental equipment with high precision. In the filed of only rotationally