微间距气体放电的实验研究与分析.PDFVIP

第55卷 第5期：0029-0034 Vol.55，No.5：0029-0034 2019年5月16日 HighVoltageApparatus May16，2019 DOI:10.13296/j.1001-1609.hva.2019.05.005 微间距气体放电的实验研究与分析 董克亮， 孙岩洲， 刘绪光 （河南理工大学电气工程与自动化学院，河南焦作 454000） 摘要：为了研究微间距气体放电特性机理，在大气压环境下，采用了精密距离控制仪器进行电极间距为1～ 100μm的气体放电实验，得出了电极间距在1～100μm范围内的击穿电压，绘制了击穿电压曲线并讨论分 析了1～5μm间距下击穿电压背离巴申曲线的原因。运用Fowler⁃Nordheim理论验证了在电极间距小于5μm 时，气体放电过程由场致电子发射主导，并通过分析1～5μm间距内场强，进一步说明场致发射在此起主导 作用。电极间距在10～15μ