纵向压电效应.ppt

第11章 压电传感器 * * 电子信息及电气工程系 11-1 压电传感器的工作原理 一、压电效应 1、正压电效应： 沿某些电介质的一定方向施加力而使之变形时，内部产生极化现象，两个表面产生符号相反的电荷，去掉外力后复原。 2、逆压电效应： 在介质的极化方向施加（交变）电场，它会产生机械变形，取掉外加电场后变形消失。 3、压电效应是可逆的。 以压电效应为基础制作的传感器，又称为发电式传感器、双向传感器、有源传感器。 二、石英晶体的压电特性 1、结构：单晶体，六角形晶柱 Z轴：3，纵向轴，光轴，无压电效应； X轴：1，经过正六面体棱线，垂直于光轴 电轴（纵向压电效应） Y轴：2，垂直于X、Z轴，机械轴（横向压 电效应） 2、计算 dmn m—产生电荷的面的轴向 n—施加作用力的轴向 1）压电晶体切片在X方向受压缩力σx作用，产生厚度变形： 极化强度Px = d11 σx = d11 Fx/lb = qx / lb 则： qx = d11 Fx 与尺寸无关。 2）沿y方向施加力Fy ，产生长度变形： 极化强度Py = d12 σy = d11 Fy/hb = qx / lb 则： qx = d12 Fy lb/ hb = d12 Fy l/ h 与尺寸相关 Sx = lb Sy = hb 由于：d11 = -d12 （各向异性） 则： qx = -d11 Fy l/ h 3）沿Z轴方向施加力，无变形，无极化。 4）无体积变形，无极化。 3、分析 偶极距： p = ql ； 矢量方向：从负指向正 无压力时： p = p1 + p2 + p3 = 0 正负电荷中心重合 施加Fy ： Py = (p1 + p2 + p3 ) 0 , Px = 0, Pz = 0 上负下正 施加Fx ： Px = (p1 + p2 + p3 ) 0 , Py = 0, Pz = 0 上正下负 施加 Fz ： P = 0 施加 Fx， Fy， Fz ： P = 0 结论： qx只与Fx ， Fy的大小和方向有关，但 剪切力、扭力会引起形变。 各向异性 4、石英晶体（天然晶体SiO2 ）的特点 稳定，在居里点（575 0C）内其压电系数（ d11 =2.31×10-12 C/N ）不随温度而变； 很大的机械强度和稳定的机械性质； 但压电系数比其它材料要低得多。 三、压电陶瓷（人造多晶体） 1、极化： 在100～170 0C和外电场（ 1～4kv/mm）的作用下，电畴的极化方向趋于按外电场排列，从而使材料得到极化。极化后，其内部存在很强的剩余极化，当其受到外力作用时，电畴的界限发生移动，因此引起极化强度的变化，产生了压电效应 2、计算： q = d33F =- d32F Sx/ Sy =- d31F Sx/ Sy 平 面 各 向 同 性 3、压电陶瓷的特点： 较之石英晶体有很高的灵敏度； 稳定性和机械强度不如石英晶体。 四、压电元件的联接及结构形式 1、联接 串联：q` = q, u` = 2u, c` = c/2 宜电压输出，C小，测快速信号； 并联：q` = 2q, u` = u, c` = 2c 宜电荷输出，C大，测慢速信号。 11-2 压电传感器的等效电路 压电传感器既是一个电荷发生器，又是一个电容器。因此可有两种等效电路： 1、电荷源：内部的电荷发生器对C充电； 2、电压源：产生的电荷形成电压源，对外供 电时需通过对等效电容充放电进 行。 2、加预应力：保证在作用力变化时，压电 片始终受力。 3、压电陶瓷的时间常数随使用时间的增长而 变小，需每半年校正一次，石英晶体稳定 Ua = q/Ca q = Ua Ca 内漏 电缆 输入 内漏 电缆 输入 11-3 测量电路 一、测量特点： 1、对象：力及力的派生物理量（压力、位移、 加速度等）。 2、动态测量：压电材料上产生的电荷