理解减反射膜的关键设计原则-激光世界.PDFVIP

光子学前沿 Photonic Frontiers 薄膜涂层 理解减反射膜的关键设计原则 文/Ronald R. Willey ，Willey Optical公司 无论是单波长还是宽带运行，减反射膜都是世界上最常用的膜 为550nm 的激光器而言，是非常合 层，其性能可能性及局限性由许多关键的光学设计原理决定。 适的AR 膜层，也可以根据需要调整 膜层厚度，使其在某些其他激光波长 减反射膜（AR ）作为世界上最 的反射光发生干涉。如果膜层材料的 为QWOT。 常用的光学膜层，涉及的范围 折射率（n2 ）等于基底折射率（n3 ） 从单波长（用于窄带激光器）到在非 和周围介质折射率（n1 ，空气或真空） (%) a) 5 常宽的光谱波段起作用的膜层，例如 乘积的平方根（SQRT ），则可以消除 4 1.52 380~1550nm 或3~12 μm。 反射（使其为零）。也就是说，n2 = 3 无论是由单层还是几十层膜层构 SQRT(n1*n3 ）。 2 1.38/1.52 成，理想AR 膜的基本特性及其实际 本质上而言，在膜层前、后表 1 1.23/1.52 0 效果，可以用反射率和透射率与波长 面反射路径延迟为 180°（或其倍数） 400 480 560 650 720 的依赖关系来描述。反射率与膜厚、 的波长处，即该波长的四分之一波长 b) 10 以及折射率与膜厚的关系，只是展示 光学厚度（QWOT ），反射率将为零。 8 1.90 的部分内容，帮助说明现代AR 膜技 例如，在510nm 处，通过在折射率 6 4 术的可能性和局限性。 为 1.52 的基底上沉积折射率为 1.52 2 的平方根（1.233）的膜层，将满足该 1.38/1.90 0 减反射基础 条件（见图 1）。 400 480 560 650 720 冕牌玻璃的未镀膜表面，例 c) 5 如 Schott 公司的N-BK7 玻璃，在 单层增透膜 4 1.52 3 550nm 处的折射率约为 1.52，在整 对于上述的N-BK7 基底，折射