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电感测微仪是用于测量微小尺寸变化很普遍的一种工具,常用于测量位移、零件的尺寸等,也用于产品的分选和自动检测。 测量杆与衔铁连接,工作的尺寸变化或微小位移经测量杆带动衔铁移动,使两线圈内的电感量发生差动变化,其交流阻抗发生相应的变化,电桥失去平衡,输出一个幅值与位移成正比、频率与振荡器频率相同、相位与位移方向对应的调制信号。如果再对该信号进行放大、相敏检波,将得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号。 这种测微仪的动态测量范围为 mm,分辨率为1 ,精度可达到3%。 4.2 差动变压器电感式传感器 (互感式) 把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的,并且次级绕组用差动形式连接, 故称差动变压器电感式传感器。 差动变压器电感式传感器的结构形式:变隙式、变面积式和螺线管式等。 在非电量测量中,应用最多的是螺线管式差动变压器, 它可以测量1~100mm机械位移,并具有测量精度高、灵敏度高、 结构简单、性能可靠等优点。 4.2.1 变隙差动变压器电感式传感器 1. 工作原理 假设:初级绕组N1a=N1b=N1,次级绕组和N2a=N2b=N2 两个初级绕组的同名端顺向串联,两个次级绕组的同名端则反相串联。 当没有位移时,衔铁C处于初始平衡位置,它与两个铁芯的间隙有δa0=δb0=δ0,则绕组N1a和N2a间的互感Ma与绕组N1b和N2b的互感Mb相等,致使两个次级绕组的互感电势相等,即e2a=e2b。由于次级绕组反相串联,因此,差动变压器输出电压Uo=e2a-e2b=0。 当被测体有位移时,与被测体相连的衔铁的位置将发生相应的变化,使δa≠δb,互感Ma≠Mb,两次级绕组的互感电势e2a≠e2b,输出电压Uo=e2a-e2b≠0,即差动变压器有电压输出, 此电压的大小与极性反映被测体位移的大小和方向。 2. 输出特性 在忽略铁损(即涡流与磁滞损耗忽略不计)、漏感以及变压器次级开路(或负载阻抗足够大)的条件下,等效电路。 r1a与L1a , r1b与L1b , r2a与L2a , r2b与L2b,分别为N1a , N1b , N2a, N2b绕阻的直流电阻与电感。 当r1aωL1a,r1bωL1b时,如果不考虑铁芯与衔铁中的磁阻影响,可得变隙式差动变压器输出电压Uo的表达式,即 分析:当衔铁处于初始平衡位置时,因δa=δb=δ0, 则Uo=0。但是如果被测体带动衔铁移动,例如向上移动Δδ(假设向上移动为正)时,则有δa=δ0-Δδ, δb=δ0+Δδ,代入上式可得 上式表明:变压器输出电压Uo与衔铁位移量Δδ/δ0成正比。 “-”号的意义:当衔铁向上移动时,Δδ/δ0定义为正,变压器输出电压Uo与输入电压Ui反相(相位差180°);而当衔铁向下移动时,Δδ/δ0则为-|Δδ/δ0|,表明Uo与Ui同相。 图4.12所示为变隙式差动变压器输出电压Uo与位移Δδ的关系曲线。 变隙式差动变压器灵敏度K的表达式为 图4.12 变隙差动变压器电感式传感器输出特性 分析结论: ① 首先,供电电源Ui要稳定(获取稳定的输出特性);其次,电源幅值的适当提高可以提高灵敏度K值,但要以变压器铁芯不饱和以及允许温升为条件。 ② 增加N2/N1的比值和减小δ0都能使灵敏度K值提高。( N2/N1影响变压器的体积及零点残余电压。一般选择传感器的δ0为0.5 mm。) ③ 以上分析的结果是在忽略铁损和线圈中的分布电容等条件下得到的,如果考虑这些影响,将会使传感器性能变差(灵敏度降低,非线性加大等)。但是,在一般工程应用中是可以忽略的。 ④ 以上结果是在假定工艺上严格对称的前提下得到的,而实际上很难做到这一点,因此传感器实际输出特性存在零点残余电压ΔUo。 ⑤ 变压器副边开路的条件对由电子线路构成的测量电路来讲容易满足,但如果直接配接低输入阻抗电路, 须考虑变压器副边电流对输出特性的影响。 零点残余电压产生原因:主要是由传感器的两次级绕组的电气参数和几何尺寸不对称,以及磁性材料的非线性等引起的。 零点残余电压的波形十分复杂,主要由基波和高次谐波组成。 基波产生的主要原因是: 传感器的两次级绕组的电气参数、几何尺寸不对称, 导致它们产生的感应电势幅值不等、相位不同,因此不论怎样调整衔铁位置, 两线圈中感应电势都不能完全抵消。 高次谐波(主要是三次谐波)产生原因:是磁性材料磁化曲线的非线性(磁饱和、磁滞)。 零点
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