多晶硅还原炉的电器设备.pdfVIP

李世振 东方电气自动控绷工程有限公司。娲Jll镶阳618∞晚 摘 要：目前，国际上多晶硅的生产。工艺大多采用改良西门子法，其关键设备为还原炉。本文介绍了国内常用的12对多 晶硅棒还原炉之国产主要电器设备，并根据多晶硅生产的流程和工艺，说明选择这些电器设备参数的原则和依据，着重介绍了 生产电子级多晶硅用的高压启动方式，以及可控硅调功器“拼波”的原理。 关键词：多晶硅；还原炉：电器设备 中图分类号：TM42 文献标识码：A 文章编号：1001—9006(2010)