课程名称现代材料测试技术.PPTVIP

3 粒子(束)与材料的相互作用 主要内容 电子束与材料的相互作用 离子与材料的相互作用 3 粒子(束)与材料的相互作用—3.1电子束与材料的相互作用 入射电子与固体中粒子相互作用： (1)入射电子的散射;(2)入射电子对固体的激发;(3)受激发粒子在固体中的传播 3.1.1 散射 设原子的质量为M,质量数(质子数与中子数之和)A, 电子质量与原子质量的比值为me/M=1/1836A.动量和能量守恒定理,入射电子与原子(核)碰撞后的最大能量损失可表示为 100keV,θ5o,ΔEmax=10-3-10-1eV. 原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射 弹性 散射 3 粒子(束)与材料的相互作用—3.1电子束与材料的相互作用 当入射电子与原子中电子的作用成为主要过程时,由于作用粒子的质量相同,散射后入射电子的能量发生显著变化,这种过程称为非弹性散射 在非弹性散射过程中,入射电子把部分能量转移给原子,引起原子内部结构的变化,产生各种激发现象,称为电子激发 电子激发是非电磁辐射激发的一种形式 非弹性散射 3 粒子(束)与材料的相互作用—3.1电子束与材料的相互作用 入射电子被原子核散射时,散射角2θ的大小与瞄准距离(电子入射方向与原子核的距离)rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关: 当入射电子作用在以原子核为中心、rn为半径的圆内时将被散射到大于2θ的角度以外,故可用