实验三 表面粗糙度测量 实验3—1用双管显微镜测量表面粗糙度 一、实验目的 1. 了解用双管显微镜测量表面粗糙度的原理方法。 2. 加深对轮廓最大高度Rz的理解。 二、实验内容 用双管显微镜测量表面粗糙度的Rz值。 三、测量原理 参看图1,轮廓最大高度Rz 是指在取样长度lr内,在一个取样长度范围内,最大轮廓峰高Rp与最大轮廓谷深Rv之和称之为轮廓最大高度 。即 Rz = Rp + Rv 图1 轮廓最大高度RZ 双管显微镜能测量0.8—80μm的表面粗糙度的Rz值。 双管显微镜的外形如图2所示,它由底座1、工作台2、观察光管3、投射光管11、支臂7和立柱8等几部分组成。 图2 双管显微镜 双管显微镜是利用光切原理来测量表面粗糙度的,如图3所示。被侧表面为P1、P2阶梯表面,当一平行光束从45°方向投射到阶梯上时就被折成S1和S2两段。从垂直于光束的方向上就可在显微镜内看到S1和S2两段光带的放大象S1′和S2′。同样。S1和S2之间的距离h也被放大为S1′和S2′之间的距离h1′,通过测量和计算,可求得被测表面的不平度高度h。 图3光切原理 图4为双管显微镜的光学系统图 图4为双管显微镜的光学系统图,由光源1发出的光,经聚光镜2、狭缝3、物镜4,以45°方向投射到被测工件表面上。调整仪器使反射光束进入与投射光管垂直的观察管内。物镜5
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