热退火对射频反应溅射氮化铝薄膜场电子发射的影响.pdf

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 热退 火对射频反应溅射氮化铝薄膜场 电子发射 的影 响 邵 乐 喜 , 刘小 平 , 谢 二 庆 , 贺德衍 , 陈光华 州 湛 江 师 范 学院物 理 系, 广 东湛 江 兰 州大 学物 理 科 学与技 术 学院 , 兰 北 京工 业 大 学材 料 科 学与工程 学院 , 北 京 摘 要 以氮气为反应气体 , 用射频反应溅射方法制备 了 薄膜 , 结合 和 表 征 品 影 , 品 考察 了热退火后处理对样 场 电子发射性能 的 响 实验表 明 热退 火是改善样 场 发射稳定 性 的有效途径 , 样 品经 退火后 , 发射 电流 的涨落从未退火前 的 “ 下 降到 户 并 且发射 的开 启 电压 、 发射 电流 的涨落和滞后等对退火温度表现 出强烈 的依赖性 文 中认为 , 退 处理 了 , 起 面 亲和 以 导 , 而影 了 火 造成 薄膜结构 的变化 引 表 电子 势特性 及 电 特性 的改变 进 响 其 发射特性 关 键 词 薄膜 场 电子发射 热退 火 滞后 中图分类号 文献标识码 引言 宽带 隙材 料 由于 其 良好 的 电子 学性 能 、 机 械性 能和 高温 下 的化 学 稳 定性而 成为理 想 的 高频 大功 率器 件材 料 , 尤 其是金 刚石 , 立 方氮 化硼 一 和 氮 化 铝 等 , 它 们 的表 面 具有 负 电子亲 和 势 特性 , 作为 冷 阴极材料 已显示 出诱人 的应用 前景 , 并 已成 为 该