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电子元器件失效分析技术 信息产业部 可靠性分析中心 基本概念和失效分析技术 第一部分 失效的概念 • 失效定义 1 特性剧烈或缓慢变化 2 不能正常工作 3 不能自愈 • 失效种类 1 致命性失效：如过电应力损伤 2 缓慢退化：如MESFET 的IDSS下降 3 间歇失效：如塑封器件随温度变化间歇失效 失效物理模型 • 应力－强度模型 失效原因：应力强度 强度随时间缓慢减小 如:过电应力（EOS ）、静电放电（ESD ）、闩 锁（latch up) • 应力－时间模型（反应论模型） 失效原因：应力的时间累积效应，特性变化超 差。如金属电迁移、腐蚀、热疲劳 温度应力－时间模型 E dM −