河北省工业气体协会会议ldetek中国代表处.pptVIP

* 北京华宇博泰科技发展有限公司. 2016-04 20ppb-1ppm线性 * * * Argotek色谱柱结合plamaDetek PED 实现ppm-ppb级Ar/O2分离的技术研究 现状： 大部分使用脱氧肼/脱氧柱技术，存在使用H2，CO还原和He保护等环节。 Plasma Detek PED及Argotek的意义 1.直接测量法，避免中间环节 2.减少误差和操作。 3.提高安全性 北京华宇博泰科技发展有限公司. 2016-04 维护量大，存在危险性，成本高 * Argon Diluted gas (ppm) Calculated value (ppm) ? 0.081 0.07 ? 0.35 0.25 ? 1.3 1.257 ? 3.13 3.053 ? 4.73 5.021 ? 9.6 9.543 ? Nitrogen Diluted gas (ppm) Calculated value (ppm) ? 0.097 0.064 ? 0.53 0.618 ? 1.4 1.236 ? 3.36 2.94 ? 5.07 4.938 ? 10.3 10.395 ? * 利用色谱柱直接分离检测法 * 北京华宇博泰科技发展有限公司. 2016-04 70ppb Ar, 65ppb N2 Average 0.070 0.064 S 0.0