第6章压电式传感器44741.ppt

本章要求 1、掌握压电效应、电致伸缩效应、石英晶体和压电陶瓷的压电特性； 2、熟悉压电传感器的等效电路、连接方式和测量电路； 3、了解压电传感器的应用。 6.1 压电效应与压电材料 一、压电效应 压电效应是可逆的，它包括正压电效应和逆压电效应。 定义：具有压电特性的电介质称为压电材料，用压电材料制成的传感器叫做压电传感器。 4、压电晶体介绍 常见的有天然和人造的石英晶体，还有水溶性晶体。 5、压电陶瓷介绍 压电陶瓷是人造的多晶系压电材料，具有很高的压电常数。 常用的压电陶瓷有： （1）、钛酸钡（Ba2TiO3），其特点有： ①、压电系数很高，d33=190，d31=-78 ，（石英d11=2.31）； ②、介电常数大。εr=120（石英εr=4.6）； ③、居里温度低。1150C（石英5730C） ④、温度稳性和机械强度不如石英。 (2)锆钛酸铅系[P2b（ZrTi）03]（PZT） ，其特点： ①、介电系数很高，εr=460—3400 ； ②、压电系数很大，d31=-100— -270 ，d33=230 ； ③、 居里温度在3000C以上。 （3）、铌酸盐系 ①、铌酸铅（Pb NbO3），居里温度高达5700C ，但εr低； ②、铌酸钾（KnbO3），居里温度为4800C ，特别适用于10—40MH高频换能器中。 近年来发现铌酸盐系压电陶瓷在水声传感器方面受到重视，适用于深海水听器中。 6、新型压电材料 （1）压电半导体。氧化锌（ZnO）、硫化锌（ZnS）、碲化镉（CdTe）。 （2）有机高分子压电材料。聚氟乙烯（PVF）、聚偏氟乙烯（PVF2）、聚氯乙烯（PVC）和尼龙等。 三、压电材料的压电效应机理 1石英晶体结构： 天然石英晶体的形状为六角形、两端为六棱锥体，因而它有三个座标系。在三个座标系中：如图6—1所示 （二）压电陶瓷 1、压电陶瓷的结构： 压电陶瓷是人造多晶体，其压电原理与石英晶体完全不同。其结构为多晶体，如图64所示。内部存在许多电畴，就象磁性材料内部存在磁畴样。压电陶瓷刚烧结成时，其内部各晶粒中的电畴的自发极化方向是杂乱无章、相互抵消的。 2、压电陶瓷的极化 极化的目的是设法使压电陶瓷内部杂乱无章相互抵消的电畴方向取向一致。 在烧结后的压电陶瓷上施加一外磁场E，在电场作用下，电畴的自发极化方向趋向电场，方向一致。极化后压电陶瓷有一定的极化强度。当外磁场去掉后，各电的极化方向基本上保持与原电场方向一致，保留一些极化强度。 3、压电陶瓷的压电效应 如果在压电子陶瓷片上施加一个与极化方向平行的压力（F0），陶瓷片会发生变形。片内束缚电荷的距离变小，电畴发生偏转，极化强度变弱，吸附在其表面的部分自由电子被释放而呈现放电现象。陶瓷压电效应释放的电荷为： q=d33F d33—压电陶瓷的压电系数。 当压力去掉后，陶瓷片恢复原状，片内正负电荷的距离变大，极化强度又更大，因而极化方向表面又吸附一部分自由电荷出现充电现象。这种由机械能转换成电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。 同样，在压电陶瓷极化方向加一个电场，如果外加电场方向与极化方向一致，便会产生拉伸变形；如果电场方向与极化方向相反，就会产生压缩变形。这种由电能转为机械能的现象，就是压电陶瓷的逆压电效应。 二、测表面粗糙度 传感器由驱动器拖动其触针在工件表面以恒速滑行，工件表面的起伏不平使触针上下移动，使压电晶片产生变形，压电晶片表面就会出现电荷，由 引线输出的电信号与触针上下移动量成正比 1：什么叫压电效应？什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？ 答：压电效应是正压电效应和逆压电效应的总称。给晶体施加外力，晶体表面便产生正比于外力大小的电势，或者在电材料上施加电场，便产生于正比于电场强度的机械变形，这种现象便称为压电效应。 正压电效应，习惯上称为压电效应。沿电介质的某轴向施加外力作用使其变形时，其内部产生变形现象，导致其两个相对表面同时产生正比于外力大小的大小相等、方向相反的电荷。外力去掉后，又恢复不带电状态。这种将机械能转换为电能的现象称为正压电效应。 逆压电效应是：如果将电场施加于压电材料某一轴向使其产生正比于电场强度且与电场方向有关的机械变形，这种将电能转换为机械能的现象称为逆压电效应。 2、分析电荷放大器的电路特点？指出最主要的优点是什么？ 答：由于电荷放大器是一个带有反馈电容的高增益运算放大器，而运算放大器具有极高的输入阻抗，因此放大器的输入端几乎没有分流，电荷只对反馈电容Cf充电，充电电压几乎接近放大器的输出电压，这便是电荷放大器的电路特点。但是电荷放大器最主要的，也是最突出的优点，是电荷放大器的输出电压U0和电缆电容Cc无关且与电荷q成正比。 *