机动化精密测角仪-PhysikInstrumente.pdf

机动化精密测角仪 长行程，高负载 WT-120  旋转范围为90度  重复精度达17.5微弧度  负载能力达20千克  可选：带角度测量系统的直接位置测量  与WT-90组合，带公共枢轴点 精密级测角仪平台 带高齿轮速比的抛光和硬化蜗杆传动用于精密定位。两个可调限位开关。 可与WT-90组合，带公共枢轴点，进行两轴运动。 版本  电机轴上带旋转编码器的直流伺服电机  步进电机  可选：高分辨率光学角度测量系统用于直接位置测量  可按需提供真空版本 应用领域 精密微装配, 计量, 光子, 光学对准 08.02.2019 规格 单位 公差 带步进电机和角度测量 带直流电机 带步进电机 系统 主动轴 θX θX θX 运动和定位 旋转范围 90 90 90 ° 集成传感器 旋转编码器 – 增量角度测量系统 传感器信号旋转编码器 AB正交，RS-422 – – 传感器信号角度测量系统 – A/B正交，RS-422 传感器分辨率旋转编码器 20000 – – 传感器信号周期角度测量系统 – – 150 微弧度 设计分辨率 1.745 174.5 1.5 微弧度 最小位移 69.8 69.8 17.5 微弧度 典型值 单向重复精度 87 87 17.5 微弧度 典型值 双向重复性 ±350 ±350 ±17.5 微弧度 典型值 摆动。 ±125 ±125 ±125