磁控溅射设备通用技术条件.PDFVIP

中华 人 民共 和 国 电子 行业 标 准 磁控溅射设备通用技术条件 Si/T10478一94 Generalspecification formagneticsputteringequipment 主题 内容与适用范围 本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包 装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备(以下简称 “设备”)。 2 引用标准 CB191 包装储运图示标志 GB 2681 电工成套装置中的导线颜色 GB 2682 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 GB 3163 真空技术名词术语 GB 3797 电控设备第二部分 装有电子器件的电控设备 GB 5080.7 设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证 试验方 案 GB6388 运输包装收发货标志 GB 7231 工业管路的基本识别色和识别符号