制样条件对介孔硅扫描电镜图片的影响.PDFVIP

第40 卷第6 期 中国测试 Vol.40 No.6 2014 年11 月 CHINA MEASUREMENT TEST November，2014 doi ：10.11857/j.issn.1674-5124.2014.06.010 制样条件对介孔硅扫描电镜图片的影响 曹 惠， 林美玉 （复旦大学先进材料实验室，上海 200438） 摘 要：为研究不同制样方法对导电性较差样品的扫描电镜图片的影响，以介孔硅材料为研究对象，采用场发射扫描 电镜（FESEM），分别比较介孔硅粉末样品、溶液样品和薄膜样品在不同制样条件下的FESEM 图片。结果表明：当扫描 电镜测试参数完全相同时，介孔硅粉末样品在导电基底（液体