X射线能量色散谱 EDS.pptxVIP

X射线能量色散谱（EDS） x-ray energy dispersive spectrocopy（X射线波长色散谱（WDX）安装在扫描或透射电子显微镜上）;一、X射线能谱分析的基本原理 二、X射线能谱仪 三、利用X射线能谱对样品成分进行分析 四、X射线能谱仪的工作方式 五、X射线能谱分析的优点和缺点;光电子、荧光X射线及俄歇电子产生过程;一、X射线能谱分析的基本原理;二、 X射线能谱仪;; 一个X射线的光子通过8～25?m的铍窗口进入探测器后会被Si原子所俘获， Si原子吸收了入射的X射线光子后先发射一个高能电子，当这个光电子在探测器中移动并发生非弹性散射时，就会产生电子—空穴对。此时，发射光电子后的Si原子处于高能激发态，它的能量以发射俄歇电子或Si的特征X射线的形式释放出来．俄歇电子也会发生非弹性散射而产生电子—空穴对．Si的特征X射线也可能被重新吸收而重复以上的过程，还可能被非弹性散射．如此发生的一系列事件使得最初入射的那个X射线光子的能量完全耗尽在探测器中。 ; X射线与Si（Li)晶体相互作用产生一个电子—空穴对所需的能量?=3.8 eV。能量为E的一个X光子产生的电子—空穴对数为： n=E/? 相应的电荷量： Q=ne=(E/?)e 这些电荷在电容CF上形成的电压脉冲信号：V=Q/ CF 这就是一个代表X光子能量的信息。 如：Fe的K?线的能量为6.4 keV, 一个Fe的K?光子能产生1684个电子—空穴对，相应的电荷为2.7?10-16C, 若CF=1pF, 则V=0.27mV。; 在检测器两端得到的电荷脉冲信号经过预放大器积分成电压信号并加以初步放大，主放大器将此信号进一步放大，最后输入单道或多道脉冲高度分析器中，按脉冲电压幅度大小进行分类、累计，并以X射线计数(强度)相对于x射线能量的分布图形显示打印出来． ;三、用XEDS对样品成分进行分析;2、定量分析;四、X射线能谱仪的工作方式;1、定点分析;2、线扫描分析;;3、面扫描分析;五、 X射线能谱分析的优点和缺点