表1厚度约为100nm的金属膜的本征应力金属淀积薄膜时基片温度0.docVIP

表1 厚度约为100nm的金属膜的本征应力 金 属 淀积薄膜时基片温度 ( 0C) 基片材料 本征应力 （108╱m2） 应力类型 Ag 90 环境温度 环境温度 玻璃 云母 铜 0.75 0.20 1.0 张力 张力 张力 Al 环境温度 环境温度 纤维片 铜 1.2 0.1 张力 张力 Au 环境温度 环境温度 环境温度 纤维片 石英 铜 4.6 2.9 0.85 张力 张力 张力 Bi 环境温度 铜 0 —— Co 200 玻璃 3.4 张力 Cu 环境温度 环境温度 25 75 －150 铜 纤维片 云母 云母 云母 0.9 4.4 0.2 0.1 3.6 张力 压力 张力 张力 张力 Fe 75 175 75 环境温度 环境温度 环境温度 云母 云母 玻璃 玻璃 玻璃 二氧化硅 铜 10.5 5.9 9.6 9.6 8.5 3.1 张力 张力 张力 张力 张力 张力 Ga －180 27 铝 铝 2.0 很小 压力 张力 In 环境温度 二氧化硅 0 —— Mg 环境温度 铜 0 —— Ni 环境温度 环境温度 75 175 环境温度 玻璃 铜 云母 云母 云母 5－8 3.5 6.4 2.6 5－8 张力 张力 张力 张力 张力 Pb 环境温度 镍 0 —— Pd 环境温度 铜 1.4 张力 Permalloy 75 75 玻璃 云母 9.0 9.0 张力 张力 Sb 环境温度 铜 0.8 张力 Sn 环境温度 玻璃 0 —— Zn 环境温度 铜 0 —— 表2 厚度约为500nm的介质膜的本征应力。 材 料 淀积薄膜时基片温度 ( 0C) 基片材料 本征应力 （108╱m2） 应力类型 Al2O3 （阳极化） 环境温度 铝 ≈1 压力 B2O3 90 玻璃 0.1 张力 BaO 50 玻璃 0.15 压力 C 环境温度 玻璃 玻璃 4.0 压力 CaF2 110 环境温度 0.2 0.0003 张力 张力 云母 CdS 110 玻璃 0.8 压力 CeF2 40 玻璃 2.8 张力 Ce2O3 50 玻璃 1.6 压力 Chiolite 环境温度 玻璃 0.029 张力 冰晶石 环境温度 玻璃 0.061 张力 LiF 110 环境温度 环境温度 环境温度 玻璃 纤维片 云母 玻璃 0.4 2.0 0.023 0.023 张力 张力 张力 张力 MgF2 110 75 环境温度 环境温度 玻璃 云母 玻璃 云母 2.0 2.2 0.11 0.11 张力 张力 张力 张力 MoO3 环境温度 玻璃 0.013 张力 PbCl2 50 环境温度 玻璃 玻璃 0.18 0.014 张力 张力 PbF2 110 玻璃 0.8 张力 SbS3 环境温度 玻璃 0.007 张力 Si 1100 蓝宝石 ≈5.0 压力 SiO 110 环境温度 玻璃 镍 1.2 4.0 压力 张力 SuO2 环境温度 玻璃 0.008 张力 TiO2 (热氧化) 585 玻璃 ≈5.0 压力 ZnS 110 环境温度 环境温度 玻璃 玻璃 云母 1.0 0.022 压力 压力 压力