长度测量方法PPT.ppt

装有测针T的杠杆M固定在绕有线圈的磁铁中心枢轴上，触针垂直位移改变磁铁两端的空气隙，转换为电感线圈的电感量变化，从而对载波信号进行调制，产生交变电流，然后再通过解调器获得截面轮廓信号，送入下级放大和运算电路。这类电感传感器的特点是输出信号只和触针位移有关，亦称位移灵敏传感器，它可以把轮廓图形逐点描绘出来，所以一般带有记录器。 非接触式轮廓仪 国家标准中规定的评定基准为轮廓中线，最小二乘中线和算术平均中线。 表面粗糙度的高度评定参数： 轮廓算术平均偏差: 微观不平度十点高度： 轮廓最大高度： 表面粗糙度的评定方法 纳米测量技术 1982年，IBM公司苏黎世实验室的葛·宾尼（Gerd Binnig）博士和海·罗雷尔(Heinrich Rohrer)博士及其同事们共同研制成功了世界第一台新型的表面分析仪器——扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope,以下简称STM）。它的出现，使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质。 扫描隧道显微镜（STM)的基本原理是利用量子力学中的隧道效应，在样品与探针之间加一定的电压，当样品与针尖距离非常接近时，样品和针尖之间将产生隧道电流Ｉ∝Ｖ·exp（－２ｋｄ）,Ｖ是探针与样品之间的电压，ｄ为样品与针尖距离，k为常数。从上式可以看出，Ｉ与ｄ成指数关系，即隧道电流Ｉ对样品的微观表面起伏特别敏感，当ｄ减小０.1ｎｍ时，Ｉ将增加一个量级。 工作原理 将被测样品作为一个电极，将作为另一个电极的极细探针靠近样品（通常距离应小于1nm），就会发生隧道效应，产生隧道效应电流。当控制压电陶瓷使探针在样品表面扫描时，由于样品表面高低不平而使针尖与样品之间的距离发生变化，而距离的变化引起了隧道电流的变化，控制和记录隧道电流的变化，并把信号送入计算机进行处理，就可以得到样品表面高分辨率的形貌图像。 我们可以把扫描隧道显微镜的工作过程总结为：利用探针针尖扫描样品，通过隧道电流获取信息，经计算机处理得到图象。 1990年，IBM公司的科学家展示了一项令世人瞠目结舌的成果，他们在金属镍表面用35个惰性气体氙原子组成“IBM”三个英文字母。 原子力显微镜（Atomic Force Microscope 简称AFM） 原子力显微镜的设计思想是这样的：一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，当探针轻微地接触样品表面时，由于探针尖端的原子与样品表面的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以得到原子之间力的微弱变化的信号。从这里我们可以看出，原子力显微镜设计的高明之处在于利用微悬臂间接地感受和放大原子之间的作用力，从而达到检测的目的。 原子力显微镜同样具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了STM的不足。 左图是目前商品化的原子力显微镜仪器普遍采用的激光检测法示意图。 图 (b）为截面式电感传感器。当被测工件尺寸发生变化时，则测杆将上升或下降的此时导磁体的截面积S也发生改变故而引起电感量的变化。这种传感器在实际使用时常采用差动连接的一对线圈。当测杆移动时，其中一个线圈的电感量增大，而另一个线圈的电感量则以同样的数值减小。因此，这种传感器能抵消因电源电压波动、温度变化以及非线性变化等因素引起的误差；故该类传感器不但有较高的灵敏度，而且非线性误差小，示值范围较大。 差动式电感传感器 总结： 绝对测量法：仪器示值为被测量的绝对值，常以刻度尺、光栅尺等作为测量基准，一般具有绝对零位，示值范围较大。如游标卡尺、千分尺、测长仪、测长机、工具显微镜等。 相对测量法：仪器示值为被测量相对于某一定值标准量的偏差值。标准量应尽可能与被测量具有相同定义及公称值。用于相对测量的仪器多称作测微仪或比较仪，一般具有放大倍数大，示值范围较小、测量精度高、零位可调的特点。如杠杆百分表，扭簧式比较仪、光学比较仪、接触式干涉仪、电感测微仪等。 直接测量法： 将被测量直接和标准量进行比较。 绝对测量和相对测量 间接测量法： 测量得到的量值是采样点的坐标（坐标测量法）或其他与被测量有确定函数关系的参量，被测量的值须通过计算求得。 微小尺寸的间接测量 大直径的间接测量 坐标测量法 随着科学技术和工业生产的发展，产品的小型化或微型化越来越成为一个重要的分支，因而微小尺寸的测量越来越多：如细丝、小孔、镀层厚度、集成电路中的氧化层厚度、各元件间的微小距离、计算机中磁头与磁盘间的微小间隙等等；而且