Ct扩散炉结构简介.pptxVIP

1;CONTENT;基本构成—centrotherm;炉体部分—centrotherm; 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。;动力柜;CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS （central machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。 ;CESAR控制电脑;控制柜;Spike TC;Spike TC;炉门控制系统-TGA;Load station;; 1.桨托的形状和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升降整个传送系统来实现；; 2.桨的传送方式：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动； ; 3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟