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敞开式直线光栅尺 2012年3月 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺测量直线轴位置过程期间没有 敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测 机械结构 任何其它机械传动件。因此，它能消除以 量的机床和系统。典型应用包括： 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅 下潜在误差源： • 半导体工业的测量和生产设备 尺和读数头，光栅尺和读数头间无机械接 • 滚珠丝杠温度特性导致的定位误差 • PCB电路板组装机 触。 • 反向误差 • 超精密机床，例如加工光学元件的金刚 敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 石刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧 装面上。安装面的平面度直接影响直线光 体元件的磨床 栅尺精度。 因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高 • 高精度机床 速加工不可或缺的必备条件。 • 测量机和比较仪，测量显微镜和其它精 密测量设备 • 直接驱动 以下产品信息 • 高质量扫描绝对式角度编码器 • 带内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 • 模块式磁栅编码器 • 旋转编码器 本样本是以前样本的替代版，所有以前 • 伺服驱动用编码器 版本均不再有效。 • NC数控机床用直线光栅尺 订购海德汉公司的产品仅以订购时有效 • 接口电子电路 的样本为准。 • 海德汉数控系统 欢迎索取，或访问 产品遵循的标准（ISO，EN等），请见 样本中的标注。 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南 4 技术特点 测量原理 6 测量精度 10 可靠性 12 机械结构类型和安装 14 一般机械信息 17 技术参数 用于绝对位置测量 LIC 4015