真空技术简介.ppt

2012-02-18 教学内容 真空基本知识和技能介绍：真空概述、真空单位、不同真空区域的划分以及他们对应的物理现象等、真空的获得、机械泵油扩散泵工作原理、真空的测量、热偶真空计和电离真空计工作原理、几种不同的真空检漏的方法等。 低气压下高电压放电、定容法和静态升压法的原理介绍。 仪器结构的介绍：DM300型镀膜机的结构和各主要部分的功能、低真空设备的结构和各部分的功能。 实验内容和注意事项（操作步骤）的介绍。 低真空示范下操作观察放电现象 真空概述 真空：低于一个大气压的气体状态。 1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验，获得真空。他在一端封闭的玻璃管内装满水银，然后把它倒立在水银槽内，管子顶端出现了一段空出，从此确立了真空的概念并首次测得大气压强的数值为760mm汞柱。 自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇宙空间。 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。 真空单位 (1)帕斯卡(帕)：Pa ；1Pa =1N?m-2 (2)标准大气压：atm ； 1atm = 101.325 KPa (3)毫米汞柱(乇)：mmHg(Torr)；1mmHg=1 Torr= 1.333?10 2Pa (4)巴：bar(B) 1B =105Pa；1mB=0.1KPa (5)毫米水柱：1mmH2O =9.806 Pa (4oC ) 真空的获